中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314609 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactorは、幅広い用途で高スループット、高生産性エッチングを可能にするように設計された、汎用性の高い小型フットプリント、デュアルソースのプラズマエッチング装置です。AMAT Ultima Reactorは、高度な残留ガス分析（ARGA）技術を使用して、エッチングのためのクリーンな環境を提供し、再現可能な結果を可能にするためのプロセスパラメータを正確に制御します。スタートアップ時に、アプライドマテリアルズUltimaの各プロセスチャンバーは、その後のエッチングレシピを最適化するために事前に調整されています。このプロセスにより、高品質の結果、再現性、生産性が保証されます。Ultimaの柔軟なアーキテクチャにより、複数のソース、ジェネレータタイプ、高周波電源、リニアフロー構成で構成することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaはまた、基板の効率的な積み下ろしのための迅速な負荷ターンアラウンドタイムを可能にするように設計された2つのロードロックシステムを備えています。ロードロックは、高純度環境のためのガスクラブ機能と一連の自動化されたプロセスを備えており、ユーザーの介入を最小限に抑えてエッチングを高速化します。AMAT Ultimaは、プロセスを簡素化するように設計された高度な制御システムを備えています。コントロールユニットには、ソフトウェアとグラフィカルに豊富なGUIベースのインターフェースが用意されており、機械を操作するための柔軟性と使いやすさの両方をユーザーに提供します。ソフトウェアは様々な言語をサポートしており、最もユーザーフレンドリーなインターフェイスの1つです。APPLIED MATERIALS Ultimaは、高性能の静電チャック（ESC）テクノロイを搭載し、エッチング時に優れた均一な基板カバレッジを提供します。その高精度の再循環バルブツールは、チャンバー全体に均一なガス排気を保証し、基本的に最適なエッチング性能を確保するために均一な圧力とプラズマ濃度を維持します。Ultimaはまた、エッチング中のガス混合物のより良い制御を可能にするガス注入システムを備えています。これにより、エンジニアは特定のニーズに合わせてレシピを調整し、ガス使用量とエッチング率を最適化することでコストをさらに削減できます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaは非常に汎用性の高い最先端のデュアルソースプラズマエッチング資産です。その高度な機能と正確な制御機能は、クリーンで効率的なエッチング環境を提供し、お客様は複雑なエッチング要件を満たすために必要な精度を迅速に達成することができます。AMAT Ultimaは、高精度エッチングを競争力のある価格で実現するための信頼性と費用対効果の高い方法です。