中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9298247 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALSアルティマ炉は、半導体製造プロセスで使用されるシリコン基板の誘電エッチング用の次世代ツールです。AMAT Ultimaは強力で高スループットのプラズマエッチング炉で、大きなウェーハを処理し、追加の化学物質を必要とせずに材料を効果的にエッチングすることができます。アプライドマテリアルズUltimaリアクターの先進技術は、エッチングの均一性の向上、スループットの向上、サブミクロンおよび超大規模統合（ULSI）プロセスのエッチングに対する優れたプロセス制御を提供します。Ultimaリアクターは、3つの異なるワークステーションをサポートする3つの独立した台座プラットフォームに基づいています。オンボードコンピュータシステムは、プロセスパラメータを制御し、温度、圧力、および大気パラメータなどの環境条件を監視するために使用されます。その先進的な機能には、堅牢な真空システム、さまざまなプラズマ源、およびガス処理機能が含まれます。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaのプラズマ源は、最大4500°Cの温度でプラズマを生成することが可能であり、超低消費電力技術は、最小限のイオン爆撃と高い選択性で高いエッチング率を維持することができます。これにより、高品質な結果でより高い歩留まりが保証されます。AMAT Ultimaリアクターは、内蔵ECRおよび誘導結合プラズマ源によるマスキングおよびプラスチック蒸着、ならびに酸化物層下のサブレイヤーの制御酸化が可能です。オンボードコンピュータシステムは、リアルタイムプロセスモニタリング、自動レシピローディングおよびパラメータチューニング、高度な故障診断および診断ソフトウェアなど、さまざまな洗練された機能を統合しています。また、データロギングと分析を提供し、ユーザーは瞬時の結果にアクセスでき、貴重な時間を節約できます。APPLIED MATERIALTS Ultimaは、優れた選択性と均一性を備えたさまざまな材料を取り扱うことができ、シリコン基板の誘電エッチングに最適です。さらに、Ultimaリアクターは12。52 kWの低消費電力で、24時間365日生産に適しています。また、内部プラズマソースのクリーン機能により、環境的に安全な動作を保証し、有害な化学物質の必要性を排除します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaリアクターは、半導体産業で使用されるシリコン基板の誘電エッチングのための高度で高性能なツールです。サブミクロンおよび超大規模統合技術の優れた均一性、高スループット、およびプロセス制御を提供し、産業用途に最適です。