中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9163587 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactorは、超高密度フィルム蒸着アプリケーションおよび大面積コンポーネントの製造用に設計された高性能の物理蒸着（PVD）装置です。この原子炉は、太陽光発電、電気通信、LED、ディスプレイなどのインフラストラクチャアプリケーション用のコンポーネントの大規模な生産に適しています。AMAT Ultimaリアクタは、薄膜厚でのフィルム平坦性と全反射率の均一性に最適化されています。これにより、セラミックス、金属、複合材料の非常に均一な層を必要とする用途に最適です。この原子炉は、超精密なフィルム制御システム、真空ドーム、極端な温度に達することができるボトムヒーターアセンブリ、および上部に取り付けられた環状ソーススパッタモジュールのように機能するプロセスチャンバーで構成されています。この原子炉には、基板の積み降ろしに容易にアクセスできるロータリーマルチスピンドル負荷ロックも備えており、真空条件でチャンバを維持しています。自動チップローディングユニットとロボットハンドリングマシンにより、大型ウェハの加工も可能です。APPLIED MATERIALTS Ultimaリアクターは、毎時30umの厚さの最大製造速度を備え、スパッタ蒸着速度は最大180分です。このツールは高度なプロセスモニタリング技術と統合されており、オペレータは優れた製品品質を確保しつつ、プロセスパラメータを完全に制御することができます。Ultimaリアクターの高効率設計により、高精度で均一な大面積部品の製造が可能です。高度なプロセス制御システムにより、プロセスエンジニアは必要に応じてパラメータを監視、トレース、調整することができ、プロセスの最適化とスループットの最大化を実現します。この資産の先進的な真空および効率的なガス流量システムは、均一な材料層を生産するための安定したクリーンな環境を促進します。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaリアクターは、太陽光発電、テレコム、LED、ディスプレイ、その他多くの用途向けの材料の精密層を大量に生産するための理想的なツールです。最適化された製造速度、高度なプロセス監視機能、および層の均一な生産により、AMAT Ultimaリアクターは大規模なフィルム蒸着操作に最適です。