中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9116892 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactorは、高度で低温、薄膜トランジスタ（TFT）ベースのフラットパネルディスプレイ用途向けに設計された高精度、高効率のプロセスツールです。AMAT Ultimaシリーズのプロセスツールのフラッグシップモデルです。APPLIED MATERIALS Ultima Reactorは、薄膜成膜およびエッチング処理用に設計されています。基板に複数のガスを同時に供給することができる標準的なシングルチャンバーシステムを備えています。Ultimaリアクターの設計には、特許取得済みのRFプラズマ生成システム、精密基板クランプ用の静電チャック、自動フィードバックシステム、および統合温度コントローラが含まれます。基板はチャック表面に保持され、原子炉室内のプラズマと直接反応します。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactorは、5ナノメートルの薄膜を堆積またはエッチングすることができ、5nm以上の均一性を達成することができます。また、室温（20〜200⁰C）でアルミノケイ酸と金属酸化膜を沈殿させエッチングすることも可能です。また、高密度プラズマでの材料の堆積だけでなく、様々な圧力で様々な気体や液体化学物質を処理することができます。さらに、原子炉にはモジュール式の設計があり、特定のプロセスにカスタマイズすることができます。AMAT Ultima Reactorは、生産において使いやすく効率的です。多結晶性ケイ素、フッ素化アモルファスケイ素、金属酸化物、アルミノケイ酸塩膜など、様々な薄膜の成膜とエッチングに信頼性と再現性の高い方法を提供します。原子炉は、ガラス、ポリイミド、石英などの様々な基板材料とも互換性があります。最後に、APPLIED MATERIALTS Ultima Reactorは、信頼性の高いプロセス性能の長い寿命を提供します。