中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #293758482 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaリアクターは、高度な集積回路の生産を可能にするように設計された高性能プラズマ反応器ツールです。この原子炉は、プロセスの一貫性と歩留まりを確保しながら、高品質のエッチング、蒸着、洗浄、およびプライムアプリケーションを提供することができます。AMAT Ultimaリアクターは、高度なプロセス制御を備えた完全に自動化された制御された処理環境を提供します。これにより、正確なイオン密度、温度、自己最適化プラズマ処理が可能になります。高度なプロセスコントロールにより、製造されたデバイスごとに正確な結果を保証することができます。アプライドマテリアルズUltimaリアクターはマグネトロンスパッタリング技術を使用しており、様々な材料で高い蒸着速度と均一性を実現しています。密度の高い均一なフィルムは、プロセス層のより正確な収束と、登録誤差の低減によるより正確なパターン化を可能にします。均一なフィルムは、プロセスバイアスのリスクを低減し、欠陥を増加させます。Ultimaリアクタを使用すると、複数の基板を並列に処理でき、スループットとスループットの変動制御が向上します。Advanced Process Control （APC）により、プロセスエンジニアはエッチングおよび蒸着プロセスを制御および監視できます。APCはリアルタイムのプロセス最適化とフィードバックを可能にし、同時に温度、圧力、基板材料タイプなどのプロセス条件のドキュメントと記録を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultimaリアクターは、最大180mmx40mmの真空チャンバーと、マスフローコントローラ（MFC）とガス排気システムを含むガス供給装置を備えています。真空チャンバーは、プロセスガスの正確な制御を保証するように設計されています。さらに、AMAT Ultimaリアクターは洗練された温度と電力制御を提供し、基板温度を正確に制御します。この精密な温度制御は、正確で高収率の結果をもたらす再現性、制御性、予測可能なプロセスに必要です。アプライドマテリアルズUltimaリアクターには、臨界寸法、窒化物の完全性、表面粗さなどの特徴を測定できるin-situ計測ユニットもあります。計測機は、プロセス条件を精製したり、プロセスのパフォーマンスを監視して最適化したり、最適な歩留まりを確保したり、プロセス制御を改善するために使用できる情報を提供します。全体として、Ultima Reactorは高度で高性能なプラズマ炉ツールであり、信頼性が高く、高品質で一貫した処理結果を提供できます。このツールは、さまざまな材料および基板サイズを処理するように設計されており、最新のプロセス制御と監視を提供し、繰り返し可能で制御可能で予測可能なプロセスを可能にします。プロセスをリアルタイムで最適化および制御することができ、歩留まりの向上とプロセスの成果の向上を可能にします。