中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #9257392 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Xは、薄膜蒸着における効率的な空間的、時間的、および材料の均一性のために設計された商用蒸着炉です。半導体、MEMS、光学、データストレージ、タッチパネル用途向けの高品質の薄膜フィルムを製造するための、経済的かつ効率的なソリューションを提供します。モジュラー設計により、固定と手動の両方のタレット工具でマルチターゲット操作が可能です。AMAT Ultima Xは、低圧、化学蒸着(LPCVD)、分子ビームエピタキシー(MBE)プロセス用に特別に設計されています。その多目的設計は半産業および産業環境の両方で使用を可能にし、費用効果が大きい優秀な均等性の薄膜を製造します。高純度の薄膜材料を精密に蒸着するため、リニア回転UHVチャンバーを採用しています。一方、高度なパルスポーズ蒸着により、プロセス全体の時間が短縮されます。APPLIED MATERIALTS Ultima Xは、優れた均一性とウェーハ表面全体の高精度な厚さ制御により、エッジ間のバリエーションを最小限に抑えます。これは、沈着ツールの範囲を含み、反応剤や材料の広い範囲で動作するように設計されています。その包括的な温度、圧力、流量制御システムは、均一な結果を保証するために均一な妨害を提供します。さらに、Ultima Xは優れたウエハハンドリング機能を備えており、機械的損傷を防ぎ、運転中の高い安全性を確保します。そのモジュラー設計は容易な取付けを容易にし、原子炉の窓およびビューポート角度はユーザーの好みに調節可能です。さらに、原子炉は簡単に統合され、最新のオートメーションおよび計測ソリューションと接続することができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Xはエネルギー効率が高く、費用対効果に優れた蒸着ソリューションであり、幅広い用途向けに高品質の薄膜ソリューションを製造するために特別に設計されています。堅牢でモジュール化された設計と幅広いプロセス機能により、堆積プロセスを合理化する貴重なツールとなります。
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