中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #9255627 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X
ID: 9255627
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
HDP CVD System, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X Reactorは、高度なアプリケーション向けに高品質の薄膜を製造するために設計された、世界的に有名な多目的蒸着装置です。さまざまな高度な機能を備えているため、分析アプリケーションと生産アプリケーションの両方に適しています。AMAT Ultima Xシステムは、ソース、メイン成膜チャンバー、基板ホルダーの3つの主要コンポーネントで構成されています。ソースは、堆積する材料を収容する高純度の石英チューブです。この材料はプロセス温度まで加熱され、600°Cまで温度に耐えることができます。主要な沈殿室は他の2つの部品を収容する封じられたスペースであり、危険なレベルの汚染への不注意な露出を防ぐように設計されています。成膜チャンバーの下部にある基板ホルダーは、成膜用の基板を保持しています。これは、コーティングの均一性を容易にするために手動で操作することができます。APPLIED MATERIALS Ultima Xの中心にはAMATが特許を取得したUltima Plus Magnetron Sourceがあります。この高度な電源は、蒸着チャンバ内のスパッタリングや反応蒸発などのプロセスに必要な電力と制御を提供します。このソースは、プロセスの安定性と再現性を向上させるための段階的なプロセス制御とプラズマ制御の速度を維持する責任もあります。Ultima Plus Magnetron Sourceに加えて、Ultima Xには、オペレータが特定のアプリケーションのプロセスパラメータを調整するために使用する一連の追加コンポーネントも含まれています。これには、蒸着プロセス中にプロセスパラメータが正確に制御され維持されるようにするために使用される一連の温度コントローラ、モニタ、およびソフトウェアが含まれます。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X Reactorは、高品質の薄膜成膜用途に適した高度な多機能成膜ユニットです。AMAT Ultima Xは、高度なソース、蒸着チャンバ、および基板処理機能を組み合わせて、高い蒸着速度で優れた均一性を持つ薄膜を作成するためのカスタマイズ可能で堅牢なソリューションを提供します。手動で操作することも、一連の自動化されたプロセスパラメータと高度な監視システムを使用することもできます。全体として、APPLIED MATERIALTS Ultima Xは、すべての薄膜蒸着ニーズに対応する信頼性の高い効率的なソリューションです。
まだレビューはありません