中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #9192804 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X
ID: 9192804
ウェーハサイズ: 8"
CVD System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Xは、今日の半導体製造アプリケーションで使用される最も先進的なエッチングおよび成膜プロセス用に設計された一連の重要な機能と技術を備えたエッチングおよび成膜炉です。AMAT Ultima Xは、AMATの最新かつ最先端のエッチングおよび成膜システムの1つであり、エッチングおよび成膜ツールの究極の機能をファブにもたらします。アプライドマテリアルズUltima Xは、アプライドマテリアルズ独自のEnhanced Advanced Plasma Contol (EAPC)テクノロジーを搭載しており、ダイナミックマッチング、コプロセス最適化、プロセスエミュレーション機能を組み合わせた一連のプラズマ制御ソリューションです。EAPCは、プロセスからプロセスへの動的なプロセス制御と一貫性を可能にするとともに、エッチングと蒸着に優れた結果を提供します。Ultima Xはマルチレベルのマルチゾーンチャンバーを備えており、ユーザーは単一のチャンバ内でさまざまなプロセス手順を実行できます。この先進的なチャンバー設計により、最大27インチの基板サイズに対応でき、幅広い基板に対応できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Xには、複数の無線周波数(RF)ソースを使用して正確なプラズマ条件を作成するアプライドのマルチチャンバープラズマ制御技術も搭載されています。これにより、精密なプロセス制御のための高度なリソグラフィーおよび計測ツールを使用して、エッチング、蒸着、洗浄などの幅広いプロセスをサポートすることができます。このユニットには、実行パラメータとデバイスプロファイルをカスタマイズできる高度なソフトウェアスイートも装備されています。これにより、ユーザーはプロセスを最適化しやすく、プロセスの変動を最小限に抑えることができます。AMAT Ultima Xにはホットスワップ可能な中和アップグレードキットもあり、エッチング/蒸着プロセス中の安定性を高めるために使用できます。このアップグレードは、より信頼性の高い結果を確保しながら、ツールライフサイクルを拡張することができます。全体として、APPLIED MATERIALS Ultima Xは、高度な機能と技術を備えた強力で高度なエッチングと蒸着機です。エッチングと蒸着プロセスに一貫した性能と優れた結果を提供するように設計されています。高度な機能を備えたUltima Xは、ハイエンドおよび高度なファブでの半導体製造に最適です。
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