中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #293754394 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Xリアクターは、蒸着の均一性を前例のない制御で薄膜を堆積させるために使用される最先端のツールです。超高真空技術、電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ源、高度なプロセス制御を利用して、高いスループットと最大のプロセス信頼性を持つ、堆積薄膜の性能と厚さの均一性をナノメートルレベルで増強することができます。AMAT Ultima Xリアクタは、調整可能な圧力制御、デュアルゾーンウェーハ回転、高度なプロセスメトロロジーにより、完全に自動化されたプロセスシーケンシングとクローズドループのプロセス制御を提供します。これにより、最も理想的な労働条件が達成され、一貫した再現性のある結果が得られます。ECRプラズマ源は、均一で高出力の酸素プラズマを提供し、エッチング、酸化、沈着、アニール、フィルム不動態化など、幅広い成膜プロセスを可能にする幅広いプロセスウィンドウを備えています。アプライドマテリアルズUltima Xリアクターは、交換可能なリニアモーションステージを備えており、高速で信頼性の高いウェーハのローディングを可能にします。また、処理チャンバ間で効率的にウェーハを転送するためのトランスファーチャンバーを備えており、高いプロセス柔軟性を提供します。Ultima Xリアクタは、複数のプロセスを並列に実行することも可能で、大きなスループットと高いレベルの処理柔軟性を提供します。このシステムは、1つのチャンバに最大8つのプロセスを収容でき、複数のウエハサイズに設定できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Xリアクターは、低温蒸着と高温処理の両方を提供し、プロセス性能を犠牲にすることなく超低蒸着温度を可能にします。これにより、高い沈着速度で信頼性の高い安定した沈着が可能になります。AMAT Ultima Xリアクターは、最高レベルのプロセス制御、再現性、均一性を提供しながら、高いスループットと柔軟性を提供する最先端のツールです。薄膜の成膜において、最も信頼性が高く再現性の高い結果を得るために不可欠なツールです。