中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima Plus #9256871 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Plusは、先進的な材料加工用途向けに設計された次世代の化学蒸着（CVD）原子炉装置です。金属、半導体、酸化物、窒化物、磁性/強誘電膜など様々な材料のバッチ処理を可能にする汎用性の高いRectorシステムです。これは、同社のUltima®ツールの強化版です。この学長の設計は、高効率の材料加熱、均一なプラズマ性能、およびプロセス制御の革新の統合された組み合わせを備えています。水晶原子炉には、2つのエッジシールド付きプラズマ源、RF発電機と加熱リフトピンを搭載したデュアルサセプターが含まれています。リフトピンは、加熱されたウェーハをサセプターから原子炉のガスボックスに均質に転送するように設計されています。AMAT Ultima Plusのモーターコントローラは、ユーザーが処理スペースを調整するために、サセプターとガスボックスの間の距離を微調整することができます。また、ウェーハ全体の温度やプラズマリアクター中央のウェーハ位置を正確に制御することができます。この原子炉は、室温から600°Cまでのプロセス温度範囲を持つ低圧およびマルチゾーン機能を備えています。また、GaN、ダイヤモンド、カーボンナノチューブなどの低圧加工も可能で、高圧加工に適さない幅広い材料を加工することができます。APPLIED MATERIALTS Ultima Plusは、in-situ楕円測定、ラマン分光、反射測定などの診断プロセスを標準装備しています。さらに、マルチチューブロードロック、ステンレススチールベローズ、4つのマグネトロンバイアスプラズマ源、強力なパルス変調プラズマ源、自動運転コントローラ、真空ユニットを備えています。このマシンは、汚染の可能性を最小限に抑えながらスループットを最適化するように設計されています。Ultima Plusを使用すると、時間、圧力、RF電力、温度などの顧客定義のパラメータによってプロセスを迅速かつ正確に制御し、最適なレシピを正確にダイヤルインできます。原子炉に含まれる高度な安全システムは、安全な動作を保証し、あらゆる種類の汚染からプロセス環境を保護します。