中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #9315128 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP （High Density Plasma）リアクターは、高度なマイクロエレクトロニクス回路とデバイスの製造を可能にするために設計された最先端のプロセスツールです。AMAT Ultima HDPリアクターは、プラズマサームと提携して開発され、新規のFinFETやデュアルゲートアーキテクチャを含む幅広い材料およびデバイスの高スループット生産を提供します。アプライドマテリアルズUltima HDPリアクターは、高密度プラズマ（HDP）ソースと、石英チャンバー本体に囲まれ、コールドウォール乾燥プロセス真空装置によって排出される多層カスケード型プラズマ放電チャンバーを組み合わせています。この技術の組み合わせにより、最も処理が困難な材料やデバイスの高スループット処理が可能になります。Ultima HDPは、Ar、 H2、 N2、 O2、 H2Oなどの幅広いガスに反応します。陽極電気バイアスと組み合わされた幅広いガスは、化学的および物理的な処理パラメータを正確に制御し、Si、 SiGe、 SiC、 GaAsなどの幅広い材料の処理を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDPリアクターには、包括的な診断セットとリアルタイム監視システムが装備されており、実行中のプロセス状況を監視するために使用できます。リアルタイム監視ユニットには、ガスサンプリング、パーティクルカウント、圧力監視、温度監視、および電気の流れとバイアス監視が含まれます。このリアルタイムモニタリングマシンを使用すると、プロセスパラメータを調整して最適化し、プロセスの再現性とパフォーマンスを向上させることができます。組み込まれたガス投与ツールはまた、プロセス化学の制御を改善することができ、ガス利用の効率を向上させることができます。AMAT Ultima HDPリアクターはまた、そのインテリジェントな安全システムのおかげで、強化された安全機能を提供します。これらの機能には、ガス漏れ、圧力または温度の急激な変化、または電力サージの場合の自動シャットオフが含まれます。アセットはまた、緊急時にオペレーターに警告し、プロセスの安全性を確保するために必要な措置を講じることができます。要約すると、APPLIED MATERIALS Ultima HDPリアクターは、高度なマイクロエレクトロニクス回路とデバイスの製造を可能にする最先端のプロセスツールです。高密度プラズマ源とカスケードプラズマ放電チャンバの組み合わせは、Plasma-Thermとのパートナーシップと相まって、Ultima HDPはクラスで最も先進的な処理ツールとなります。包括的な診断とリアルタイム監視モデルにより、プロセスパラメータを正確に制御し、プロセスの再現性を向上させます。また、緊急時にプロセスの安全性を確保するための強化された安全機能も提供します。