中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #293797292 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDPリアクターは、薄膜のプラズマ蒸着およびエッチングに使用されるプラズマ処理チャンバーです。精密薄膜成膜およびエッチング工程において、高品質の均一性と生産性を提供するように設計されています。HDP原子炉には、広範囲にわたって均一なプラズマエッチングと蒸着を提供する高度電子サイクロトロン共鳴（ECR）磁場が装備されています。ECRは、ガス分子をイオン化および加速するための均一な電場を生成し、より一貫したエッチングと蒸着を有する非常に均一なプラズマを生成します。HDP原子炉はステンレス鋼で構成されており、熱均一性を向上させるために、チャンバーを通して冷却水ガスの流量が多い大きなプロセスチャンバーを備えています。また、二重蒸着源により均一性を高め、複数のプラズマを交互に切り替えて複数の層を堆積させることができます。AMAT Ultima HDPは、薄膜を精密にエッチングして堆積するための強力なツールです。業界をリードするスループット、一貫した均一性、および従来のプラズマ処理ツールよりも優れた微細構造制御を提供します。改善された均等性および温度調整は穴があいた壁の設計がプロセス部屋を通してガスを均等に動かすために部分にあります。アプライドマテリアルズUltima HDPには、高度な圧力制御とセンシング技術と機能が含まれています。HDPリアクターは、プロセスの大幅なスケーリングと統合を可能にし、蒸着およびエッチングプロセスの制御レベルを向上させながら、スループットと生産性を向上させます。これは、プロセスの他のコンポーネントと直接統合するだけでなく、既存のクリーンルーム環境への統合を可能にする汎用性の高いソリューションです。Ultima HDPはAMATファミリーのプラズマ加工ツールの一部であり、エッチング、堆積、表面改質に多種多様な機能を備えています。それは今日のハイテクな研究センターおよび製造工場の要求に応じるように設計されています。APPLIED MATERIALSの全社的なカスタマーサポートに支えられ、お客様は技術と生産プロセスを最大限に活用できます。