中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63 #9186153 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63は、今日最も要求の厳しいプラズマエッチングプロセスに優れた電気的および化学的制御を提供するように設計された先進的なプラズマエッチング炉です。信頼できる実績のあるプラットフォーム上に構築されたAMAT Ultima AZX-63には、最も要求の厳しいエッチングジョブのための強力な機能が含まれています。そのマルチ周波数パルス電源は、単一または複数の層のエッチングのための最大の柔軟性と比類のない性能を提供します。APPLIED MATERIALTS Ultima AZX-63の独自のダイレクトドライブ電気機械プラットフォームは、系統的および運動的分解能を大幅に向上させ、粒子誘発欠陥を大幅に低減します。これは、最高レベルのプロセス効率のための製品歩留まりと出力ドライブの大幅な改善につながります。さらに、アルゴンや窒素などの反応性と非反応性の両方のプロセスガスで働くことができる大気圧プラズマ発生器を備えています。これにより、エッチング処理中の均一性と再現性が向上します。Ultima AZX-63には、商標登録されたCyclonus™機械式ポンプが装備されています。この審美的に設計されたポンプは、業界で最も効率的で、非常に低騒音と振動があります。堅牢なローター技術と密閉されたモーターチャンバーの組み合わせにより、環境からの干渉を防ぎます。独自の設計により、高い圧縮・真空制御が可能となり、欠陥の少ない極めて精密なエッチング結果が得られます。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63は、寿命センサ、自動基板アライナー、プラズマDiscriminator™などの一貫した寿命監視および制御オプションも備えています。これにより、最高のプロセス収率を達成し、新しい基板プロセスのベースラインを迅速に確立することが容易になります。ラボで最高レベルの品質と安全性を確保するために、AMAT Ultima AZX-63には洗練された安全パッケージが装備されています。これには、警告ビーコン付きのアラームシステム、調整可能なフローセーフティバルブ、およびリモートバーナー制御機能が含まれます。最後に、APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63は、自動シャットダウン機能とエラー診断機能を備えたメンテナンスと操作を容易にするよう努めています。高度なプラズマエッチング機能と高度な安全機能を備えたUltima AZX-63は、精密プラズマエッチングのニーズに最適です。その性能と信頼性は、最も要求の厳しい高精度プラズマエッチング用途に対応するように設計されています。