中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665728 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Twin Chamber for Producer SEは、ウェーハ基板の高性能処理を実現する特殊反応チャンバーです。装置は異なった生産プロセスの必要性を満たすために複数の構成で提供されます。ツインチャンバーには、酸化ケイ素、ポリシリコン、窒化物、その他の化合物を堆積させるための下部チャンバーと、エッチングおよびその他の操作のための上部チャンバーの2つの高真空反応チャンバーがあります。下部のチャンバーには、さまざまなソースが装備されており、均一な処理のために温度制御されています。加熱されたベースプレートにより、加工時のウェーハ温度を維持します。また、均一な成膜のための2つの独立したプラテンシステムも備えています。このチャンバーには、高圧ガス供給システムと自動ガス管理ユニットも備えています。上部チャンバーは、深部シリコンエッチングや様々なLPCVDプロセスなどの操作を処理するように設計されています。セラミックラインリニアRFソース、ディープエッチング用セラミックアノードプレート、石英アノードプレートを豊富に取り揃えています。このチャンバーには、エッチングプロセス用の異なるガスを供給するための高圧機械も含まれています。両チャンバーは、高性能処理を提供するために一緒に動作するように設計されています。下部チャンバーは材料の均一な堆積を供給し、上部チャンバーは必要に応じてさまざまな材料をエッチングして堆積させます。また、チタン蒸着などの高温プロセスにおいてウェーハの均一性を向上させる高温加熱素子を搭載しています。このアセットには、2つのチャンバ間でウェーハを転送する自動ウェーハハンドリングモデルも含まれています。この装置は、迅速かつ効率的なウェーハ処理を提供するように設計されています。このシステムは、プロセスコントロールソフトウェアとホストコンピュータと統合するように設計されており、プロセスパラメータをリアルタイムで監視および制御できます。AMAT Twin Chamber for Producer SEは、さまざまな用途に対応する高性能ウェーハ処理を提供するように設計されています。2つの独立したチャンバーと自動化されたウェーハハンドリングユニットを組み合わせることで、サイクルタイムを短縮して品質の高い結果を得ることができました。これにより、生産プロセスを改善しようとしている人にとって理想的なソリューションとなります。