中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665727 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Twin Chamber for Producer SEは、従来のシングルチャンバーエッチングツールよりも大幅に均一性が向上し、欠陥率が低く、エッチングプロセス条件を正確に制御できるように設計された高性能の半導体エッチング炉です。装置は2つの独立した真空チャンバーで構成されており、それぞれに独自の電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ源があります。これにより、各真空チャンバ内の2つの別々の基板を正確に同時にエッチング処理できます。各チャンバーの2つの独立したECRプラズマ源は、簡単なアクセスと簡単なメンテナンスを特徴としています。各プラズマ源は、プラズマ出力、周波数、RFバイアス、ガス分布を正確に制御し、プロセス収率を向上させることができます。さらに、高度なマルチポイントクローズドループのサンプルオートメーションシステムにより、エッチング実行中にプロセス条件を自動的に調整し、エッチングプロセスをオンザフライで最適化できます。チャンバーは、ウェハ転送ユニット、配管、およびRF（無線周波数）シールドを含むロボットツール搬送フレームに収容されています。これにより、汚染を最小限に抑えながら、2つの基板を2つのチャンバー間で素早く簡単に転送できます。フレームはまた、チャンバーに手動でアクセスする必要がないため、より効率的なメンテナンスを可能にします。自動化されたプロセスの最適化と監視、障害診断、ユーザーセキュリティ、アラーム、データロギング、FDA GxPと21 CFRパート11の準拠などの強力な機能とともに、機械の中心は、簡単なツールのセットアップとプロセス制御のための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供するソフトウェア制御インターフェイスです。これにより、非常に反復可能なエッチング結果でアセットを簡単かつ正確に操作できます。AMAT Twin Chamber for Producer SEは、エンジニアや科学者が高品質の精密エッチング結果を得ることができる強力なエッチングツールです。高度な機能、高い信頼性、優れた性能により、エッチング用途に優れた費用対効果の高いソリューションを提供します。