中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665501 を販売中

AMAT Producer SE Twin Chamber Reactorは、シリコンウェーハの高速エッチングおよび成膜用に設計された堅牢で操作が容易なバッチ処理装置です。この高度な2チャンバ処理システムは、両工程のエッチング、成膜、および組み合わせを処理することができるため、究極の柔軟性を提供します。生産者SEツイン室炉は、高いスループプット処理を可能にし、優れたフィルムステップカバレッジと高いプロファイルの均一性を達成することができます。1つ目のチャンバーであるエッチングチャンバーは、最大9つの個別制御ウェーハと機能を処理し、積極的なガス供給ユニットと導体ウェーハのローディングをサポートします。このチャンバーは、酸化ケイ素と窒化ケイ素をエッチングする前駆体としてHFを使用しています。高度な質量分析計や高感度振動マスディフュージョン装置などのハイエンド技術を使用して、エッチング速度と選択性を実現し、高度な表面温度制御とクローズドループウェハローディングマシンと組み合わせて使用すると、良好なプロセス歩留まりと再現性を得ることができます。2番目のチャンバー、蒸着チャンバーは、優れた蒸着均一性と再現性を保証する統合された垂直シャワーヘッドを備えています。高性能シャワーヘッドは、低汚染レベルを確保するために高度な排気および流体温度測定によってサポートされています。このチャンバーは、2〜6個の個別制御ウェーハを処理するように設計されており、前駆体としてPECVD TEOSなどの高温フィルムを使用しています。密閉ループウェハローディングツールと高度な質量分析アセットを使用して、蒸着性能を最大化し、優れたフィルムステップカバレッジを実現します。生産者SEツイン室炉は、大規模な処理のために設計されています。トランポートモデルは、最大50個のウェハの効率的な自動処理を提供し、機器のスループットをさらに向上させます。それは改善された制御ソフトウェアおよび高度のプロセス監視機能の改善されたシステムです。それは各ステップのためのプロセスパラメータの完全なカスタマイズを可能にし、非常に速く、容易な組み立てを提供します。その結果、プロセスは最適な条件で実行され、歩留まりを改善し、サイクル時間を短縮します。この高度な2つのチャンバ加工ユニットは、エッチングおよび成膜アプリケーションに究極の柔軟性を提供することができます。