中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375622 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2は、半導体生産に使用される高出力、大容量の原子炉装置です。このシステムは、基板支持テーブルと原子炉室の2つの主要コンポーネントで構成されています。基板サポートテーブルはステンレス製で、加工中の基板をサポートします。原子炉室は、ステンレス製の大気圧修飾された真空チャンバーであり、プロセス中に基板に清潔で安全な環境を提供するために使用されます。AMAT Siconi R2には大きな機能セットがあり、プロセスパラメータを正確かつ再現可能に制御できます。このユニットには、RFジェネレータ、均一な温度分布を提供する正確な空冷チャック、および高度なリアルタイムガス制御機が装備されています。RFジェネレータは、最大10ワットのRF電力を供給することができ、サイクル全体でプロセスの再現性を提供します。空冷チャックは、ウェーハ全体の熱勾配を低減するように設計されており、酸化物の厚さやエッチング深さなどの均一なプロセスパラメータを可能にします。リアルタイム制御ツールは、サイクル中に精密な反応制御を可能にし、一貫した品質と再現性を確保します。アプライドマテリアルズSiconi R2はプロセス制御に最適な環境を提供し、工具のダウンタイムを最小限に抑えた最高レベルのプロセス再現性を実現します。プロセスパラメータを正確かつ再現可能に制御することで、製造歩留まりが向上します。この資産は、自動生産のために設計されており、半導体デバイス製造プロセスにおける重要なリンクとして機能します。この最先端の原子炉モデルは、安全で清潔で一貫して再現可能な大気を提供し、同時に最大のスループットを実現します。