中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375619 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2は、シリコン、二酸化ケイ素、タンタル、銅、ガリウム、ヒ素など、さまざまな材料を処理するために設計された強力で信頼性の高いエッチングリアクターです。AMAT Siconi R2は、2つの独立した高出力チャンバーを備えた両面プラズマベースのエッチング炉です。各チャンバーは、リアクティブイオンエッチング（RIE）とリモートプラズマエッチング（RPE）の両方を行うことができます。アプライドマテリアルズSiconi R2には、さまざまなプロセスを制御するための幅広いDC、 RF、マイクロ波源を備えた柔軟な電源装置が装備されています。また、独自のオンボード電源管理システムを備えており、プロセスレシピの簡単なチューニングと最適化を可能にします。このユニットは、最適な柔軟性と汎用性のために複数の個々のジェネレータチャネルを利用しています。Siconi R2はまた、プロセスとスケジューリングを自動化するための高度なソフトウェアと制御マシンを備えています。エッチングと蒸着プロセスを監視するためのプロセスウィンドウ機能とソフトウェアを内蔵しています。ソフトウェアはまた、リモートアクセスと制御だけでなく、高度なデータ分析とプロセス最適化機能を可能にします。最良の結果を得るために、AMAT/APPLIED MATERIALTS Siconi R2は高度な成膜とエッチング技術で設計されています。使用可能な技術には、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、スパッタエッチング、イオンビームエッチング、反応イオンエッチング、ディープリアクティブイオンエッチング、電子キャプチャアッシング、反射測定などがあります。AMAT Siconi R2には、保護のための自動シャットダウンおよび検出システムなど、さまざまな安全機能があります。チャンバーエリアも最大限の安全のために囲まれています。応用材料Siconi R2には、基板表面全体に均一なガスの流れと均一なエッチングを保証する特許取得済みのガス分配ツールもあります。Siconi R2は、さまざまな材料の処理に最適な強力で信頼性の高いエッチングリアクターです。AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2は、高度な電源、ソフトウェアおよび制御システム、および高度な成膜およびエッチング技術により、エッチングおよび成膜プロセスに最適です。その安全性の特徴と特許取得済みのガス分配資産により、あらゆる種類の材料を処理するための安全で効率的な選択肢となります。