中古 AMAT / APPLIED MATERIALS RTP #9035884 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS RTPは、AMATが開発・製造した半導体材料加工のために設計された原子炉です。原子炉には、正確で再現性のある結果を保証する高度なプロセス制御システムが装備されています。これは、集積回路（IC）の製造に使用され、高度な機能と高性能のICの製造を可能にするように設計されています。AMAT RTPは、誘電蒸着、拡散、リフロー、アニーリングなど、さまざまな用途に使用される高度な熱処理システムです。リアクターは、より高速な処理サイクルを提供し、基板の均一性と再現性を向上させる循環熱処理を使用しています。また、正確な温度制御と監視を提供するサーマルイメージング技術を搭載しています。この原子炉は、化学蒸着、酸化、急速な熱アニーリング、リフロー、拡散など、さまざまなプロセスで構成することができます。原子炉には、加熱された石英管、石英表示セル、噴出セルが含まれています。クォーツチューブは基板の加工スペースを提供し、制御された環境で加熱および冷却することができます。クォーツビューセルには反応種が含まれていますが、噴出セルは温度制御を提供し、ガス混合物を効率的に基板に適用することができます。また、プロセスモニタリングと制御、データロギングとアーカイブ機能を提供するための中央コントローラも付属しています。応用材料RTPは非常に効率的で生産的で信頼性の高い熱処理システムです。堅牢な材料とプロセスで設計されており、数百万の処理サイクルにわたって高い生産率と信頼性の高い基板の均一性を確保します。この原子炉は、IC製造アプリケーションのための費用対効果の高いソリューションです。複雑な処理をより短い時間で完了させることができます。また、自動化された制御を備えており、さまざまなアプリケーションで安定したパフォーマンスと精度の向上を実現しています。これにより、IC製造に理想的なソリューションとなり、より効率的なプロセスと市場投入までの時間サイクルを短縮できます。