中古 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Tungsten targets for Endura #293827058 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PVDリアクターは、多種多様な蒸着アプリケーションで高品質の結果を提供するように設計された最先端の物理蒸着（PVD）装置です。AMAT Endura PVDシステムは、チャンバー、RFソース、るつぼを組み合わせたシングルバッチツールで、高速で再現可能な熱安定層蒸着を提供します。アプライドマテリアルズEndura PVDユニットは、動的機械制御、プラズマパワーモジュレーション、統合プロセス制御、およびプリプロセスおよびポストプロセスオプションなど、高性能層堆積のための有利な機能を提供します。Endura PVDチャンバーは、マルチピースのクローズドボリューム環境と統合グラファイトサセプタプレートを備えたステンレス構造です。RFソースには、高度なブロードバンドマッチングネットワーク、最先端の周波数調整可能な電源、および信頼性の高い再現性と一貫した電力供給を提供するための誘導結合インダクタが含まれています。るつぼは均一な熱分布と効率的な熱伝達のために設計されており、より高い温度でもプロセス中に優れた熱安定性を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PVDツールは、完全にユーザー設定可能なデジタルコントローラ、完全なプロセス制御、および内蔵温度センサーを備えています。このアセットは、ターゲット堆積層を達成するためのプロセスパラメータ、蒸気ストリームを噴霧し、高い一貫性を持つ蒸発反応性材料を提供するネブライザー、基板加熱および冷却を監視するためのマウントされたサーマルカメラを正確に設定するように設計されています。AMAT Endura PVDモデルには、脱気、パージ、クリーニング、ウォームアップなど、複数の前駆プロセスがあります。さらに、クールダウン、静止メンテナンス、フラックスフリーズなどのポストプロセスオプションを利用しています。これらの機能により、プロセスの重要な温度パラメータがサイクルを通じて達成されます。アプライドマテリアルズEndura PVDシステムは、半導体、ディスプレイ、ディスクドライブなど、高度なウェーハ層やガラス層の幅広い用途分野において、高性能な結果を達成するために必要な層の成膜特性を正確かつ正確に提供するように設計されています。このユニットは非常に構成可能でユーザーフレンドリーであり、研究および製造アプリケーションに最適です。