中古 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9375957 を販売中

ID: 9375957
ウェーハサイズ: 8"
8" With pump.
Enduraプラットフォームで使用するAMAT PVDチャンバーは、薄膜材料の物理蒸着のための高度なツールです。この高度なプロセスチャンバーは、様々な基材に適用された場合、蒸着環境を正確に制御するように設計されています。このチャンバーは、金属、合金、複合成膜など、幅広いプロセスに対応しています。PVDチャンバ自体は、重量ゲージ金属から機械加工され、人間工学的および構造的完全性のために金属化された、固体スチールボディで作られた大きな円筒型エンクロージャです。チャンバー内には真空対応の電動モーターとファンアセンブリがあり、蒸着プロセスの正確で制御されたマスフロープロファイルを指示します。この高効率モータは、精密な回転速度を制御することができる精密駆動機構に接続されており、基材に堆積した層またはフィルムの精度と均一性を確保します。このチャンバーには、プロセス実行中にチャンバが開くのを防ぐ安全インターロックや、偶発的なホッパー破損の場合にチャンバ内部から外部へのプロセス圧力のラインを定義する機械壁など、いくつかの安全機能があります。チャンバーはまた、プロセスが実行されている間、技術者が内部を視覚的に検査することができますエンクロージャの上部近くに透明なウィンドウが含まれています。Enduraプラットフォーム用のAPPLIED MATERIALS PVDチャンバーに付属のコントローラは、コンピュータまたはモバイルデバイスを介して管理できる直感的で使いやすいシステムです。蒸着プロセスのリアルタイム表示を提供し、技術者は簡単に設定を監視、分析、修正することができます。コントローラはまた、サイクル数と堆積された材料の量の詳細を含むプロセスレポートの終了を提供します。この情報は、蒸着プロセスを最適化し、複数の基板にわたる膜厚、均一性、一貫性の点でより正確な結果を作成するために使用できます。全体的に、AMAT/APPLIED MATERIALS Enduraプラットフォーム用PVDチャンバーは、さまざまな基板上の薄膜成膜のための先進的なツールです。その複数の安全機能、最先端のモーターアセンブリ、直感的なコントローラは、蒸着プロセスよりも優れた制御、精度、精度を提供し、時間後に正確な層とフィルムを生成します。
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