中古 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9275294 を販売中
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販売された
ID: 9275294
ウェーハサイズ: 12"
12"
Process: Extensa Su
Magnet
Cryo pump OB-IF8
Gate valve: VAT
Heater: 0010-24456
Adaptor: 0040-89818
Manometer: 1350-00255
ATM gauge: W117V-3H-F12M-X30014
Capacitance pirani gauge: 3310-00073
Pedestal integration box: 0010-28071
Hot ion / Pirani gauge: 0190-26769
Shutter sensor assembly: 0190-10801
Source assembly: 0010-44917
Angle vacuum valve: AVT-150M-P-03
Heater lift motor
Wafer lift motor: MQMA012AF
Shutter motor: PK564AW2-A8
Drivers:
Heater driver: 3096-1007
Wafer lift driver: 0190-15328
Pedestal driver: PV2A015SMT1PA0-C1
Magnet rotation driver: BXD400B-S
MFC:
AR 50
AR 20
N2 92
No 5-Phase driver
No ISAC CP 10 Block board
No defective power supply.
AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Enduraは、さまざまな産業におけるさまざまな生産用途に使用するために設計された物理蒸着(PVD)炉です。PVDは、基板上に固体膜を生成するために、材料の蒸発を伴う蒸着プロセスです。Endura Chamberは、さまざまな業界で信頼性と費用対効果の高い堆積手段を提供します。Endura Chamberは、高純度、高圧プロセスガスを供給するアクティブポンピングシステムを備えています。このシステムには、堆積する材料を蒸発させるための高出力電源も含まれています。このソースは、フィラメント型のタングステンボート、トリオード加熱フィラメント、または電子銃で構成されています。このチャンバーには、石英窓シール、漏れ検出器、爆発ガス検出器など、いくつかの安全機能も含まれています。部屋はステンレス鋼、UHV互換アルミニウムおよび他の耐食性材料から組み立てられます。チャンバーには、堆積プロセスの観察と監視を可能にする2つの雰囲気のビューポートも含まれています。ビューポートは内部の汚染を防ぐために光学的に密封されています。Enduraチャンバーは、高い生産性、再現性、再現性を実現するように設計されています。コンピュータベースの制御システムにより、レシピやデータ収集、プロセス監視などの高度な機能を自動化できます。それは大量生産の条件を満たし、1100°Cまで温度を支えることができるように設計されています。エンデューラチャンバーは、堆積プロセスの信頼性と柔軟性を提供するだけでなく、プロセス関連のコストを最小限に抑えることができます。これは、メンテナンスが容易で運用コストが低いために達成されます。さらに、その効率性と高度な技術は、最高品質の基準を維持しながら、プロセスの生産性を向上させるのに役立ちます。全体として、AMAT PVD Chamber for Enduraは、物理蒸着の信頼性と費用対効果の高い方法を提供します。その高度な安全性と制御機能は、その信頼性と柔軟性と相まって、多くの生産アプリケーションに最適です。
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