中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9221488 を販売中

AMAT Produceは、さまざまな製造プロセス向けに設計された原子炉です。この原子炉は薄膜蒸着に使用され、幅広い膜厚と蒸着速度で優れた膜特性の制御と均一性を提供します。この装置は、バッチ処理またはインライン処理用に設計されており、幅広いプロセスと材料の組み合わせを可能にします。このシステムは、繰り返し可能で制御可能で信頼性の高いプロセスと均一性の結果を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producerには、2つのロングアイランド蒸着源と2つのメインチャンバーがあり、それぞれ2つのロードロックがあります。ロードロックは、1つのチャンバーアセンブリを形成するために一緒にボルトで固定することができます。両側の2つのロードロックは、プロセス圧力と温度を制御するために別々に通気されます。チャンバー部品とロードロックは、高品質のステンレス鋼とアルミニウムとオプションのチタンラインチャンバーベースで構成されています。チャンバー寸法、内部温度および圧力は、統合されたコンピューター制御温度および圧力レギュレータによって維持および監視されます。AMAT Producerは、ハイスループット用途向けに設計されており、15分間で最大30の薄膜構造の生産速度を提供します。この蒸着源は、均一な薄膜蒸着に最大1kWの基板電力を供給します。このソースは、手動または自動モードで操作できます。マニュアルモードにより、プロセスオペレータは、原子炉のプロセスガスの温度、圧力、流量などの変数を正確に制御できます。自動モードでは、これらの変数をリモートで制御できます。APPLIED MATERIALS Producerのコントロールユニットは、実証済みの機械アーキテクチャに基づいて。このツールには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれているため、ユーザーはプロセスパラメータを入力し、プロセスパフォーマンスを監視し、複数のプロセスにわたって履歴データにアクセスできます。このアセットには、薄膜蒸着プロセスを迅速に設定および最適化するための強力なプロセス開発モジュールも含まれています。生産者は、反応性プロセスガスのパラメータと薄膜蒸着性能を測定するさまざまな物理的および化学的センサーを備えています。これらのモニタリングされたパラメータには、蒸着速度と均一性、基板温度、および熱電蒸着速度が含まれます。このモデルは、薄膜蒸着プロセスが所望のパラメータに従うことを保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producerは、さまざまな薄膜蒸着用途での使用に最適です。20：1までのアスペクト比の高い基板に均一な薄膜成膜を必要とする用途に適しています。この装置は高いスループット機能を備えており、プロセス開発者は薄膜蒸着プロセスを素早くセットアップして最適化することができます。高度な制御システムと品質コンポーネントにより、信頼性と再現性に優れた薄膜成膜処理に最適なプラットフォームです。