中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9213897 を販売中
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販売された
ID: 9213897
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
System, 8"
Process application: Silicon oxide and silicon nitride
SMIF: (4) ASYST INX 2200
Mainframe: FR BROOKS
NESLAB Steelhead1 Chiller
Mainframe pump: IPX 100
Process chamber A:
Type: Silicon oxide and silicon nitride
AE RG 2000 Generator
Chuck: Ceramic heater
Clean unit: RPS
Gas configuration:
N2 10000 SCCM
NF3 3000 SCCM
NH3 100 SCCM
NH3 1000 SCCM
SIH4 500 SCCM
N2O 500 SCCM
N2O 5000 SCCM
AR 5000 SCCM
Process chamber B:
Type: Silicon oxide and silicon nitride
AE RG 2000 Generator
Chuck: Ceramic heater
Clean unit: RPS
Gas configuration:
N2 10000 SCCM
NF3 3000 SCCM
NH3 100 SCCM
NH3 1000 SCCM
SIH4 500 SCCM
N2O 500 SCCM
N2O 5000 SCCM
AR 5000 SCCM
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer(別名MXTD)は、先端材料製品の製造に使用される原子炉の一種です。これは、複数の反応チャンバと精密プロセス制御を備えたマルチプロセスバッチチャンバー装置です。このシステムは、マイクロエレクトロニクス機器や高度な光学部品などのモノリシックおよび複合材料を製造することができます。チャンバーユニットは、ユーザーのニーズを満たすように構成することができるいくつかの異なるサイズのプロセスチャンバーで構成されています。各チャンバーには、ロータリーポンプ、バルブ、電源などのユニークなプリインストール機器とコンポーネントが装備されています。チャンバーを使用すると、反応チャンバーに選択した溶液が充填され、プロセスが開始されます。プロセス開始時に反応チャンバ内に真空を生成し、高品質の材料生産を確保するために圧力を維持します。プロセスが開始されれば、ユーザーは温度、圧力および流量を調節することによって反作用を制御できます。反応は、所望の生成物が得られるまで進行する。AMAT Producerは、均一な組成、高純度、優れた均質性を保証します。MXTDには、さまざまなアプリケーションに適した幅広い追加機能が装備されています。リアクターに内蔵されたピエゾスキャニングマシンは、温度や圧力などのプロセス変数を低レベルでも正確に測定することができます。また、同じ処理技術を一貫して繰り返すための安定した環境を提供し、MXTDを非常に再現可能にします。MXTDリアクタには、プロセスデータの分析やプロセス制御に使用できる高度なデータロギングツールもあります。このアセットを使用すると、ユーザーは自分のデータをリアルタイムで表示したり、サードパーティの分析ソフトウェアを使用して反応プロセスを保存したり分析したりできます。全体的に、MXTDは、高品質のモノリシックおよび複合製品を生産することができる高度な、マルチプロセスおよびユニバーサル反応チャンバーモデルです。統合されたプロセス制御システムにより、製品の均一性と再現性が保証されます。一方、技術的に高度なデータロギング装置により、プロセスデータを分析し、アプリケーションのさらなる洞察を得ることができます。
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