中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9204130 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producerは、半導体デバイス製造に使用されるタングステン層のタングステン化学蒸着（CVD）および前処理および後処理のために設計された高性能で大規模な原子炉です。この原子炉は、さまざまな基板にタングステンの垂直に均一で欠陥のない層を提供するように設計されています。Materials AMAT Producerは、大きなサセプター径で設計されており、720mmの均一な蒸着と非均一性の除去を可能にします。この原子炉はまた、均一なサセプター温度制御を備えており、ウェハの両側に独立した温度を設定することができます。APPLIED MATERIALS Producerは、蒸着プロセスのリアルタイム監視を提供するライトビームモニターでも設計されています。マテリアルプロデューサーは、複数の種類の材料を処理する能力の観点から、さまざまな試薬ガスで開発された反応を介してCVD成膜、エッチング、洗浄が可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS Producerは、タングステンベースの戦略とプロセスをサポートするように設計されており、銅、銅タングステン、モリブデン、二酸化ケイ素などの様々なタングステン基板を処理する機能を提供します。AMAT Producerは、プロセスチャンバーとガス源チャンバーの2つのチャンバーを備えたマルチチャンバー構成リアクタです。プロセスチャンバーには、低圧範囲のRF電源、反応チャンバ、2つの独立したサセプター、1チャンバータイプの負荷ユニット、および真空チャンバが含まれています。ガス源チャンバーは、ガス圧力と流量を制御するためのポート、スプールピース、ドライヤー、および電源と反応条件を調整するためのコントローラで構成されています。APPLIED MATERIALS Producerには、リアルタイムのプロセス条件、高度な診断、データロギング、分析ツールを提供する強力なソフトウェアも付属しています。この原子炉は、中断された発煙フード、現場の人員監視、および32ポイントの安全停止システムなど、より安全な操作を促進する多くの安全機能によって丸められています。要約すると、生産者は、タングステンCVDとレイヤーの前処理と後処理のために設計された高度で強力な原子炉です。この原子炉は反応条件を正確に制御し、複数の材料をサポートし、安全性を確保するためのさまざまな安全機能を備えています。