中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9192631 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producerは、プラズマ強化分子ビームエピタキシー（PEMBE）用の先進的な原子炉技術です。この原子炉は、半導体デバイスの開発と生産を産業規模で行うことを可能にし、厳しい半導体デバイス要件を満たすデバイスの大量生産を可能にします。この原子炉は、高レベルのプロセス制御を提供するように設計されており、最高レベルのデバイス歩留まりと効率で、デバイスの生産を迅速に進めることができます。AMAT Producerは、多次元反応器チャンバーを含む複数のコンポーネントで構成されており、無線周波数（RF）コイル、平面コルディエライト・サセプター、チャックを備えています。高度に自動化された制御ソフトウェアは、デバイスの生産プロセスを自動化するように設計されており、ガス流量、蒸着温度、およびその他のデバイスパラメータなどのさまざまな設定を提供します。プロセスパラメータは、Webベースのインターフェイスを介して調整することができ、ユーザーは即座にデバイスパラメータを調整し、デバイスの生産の進行を監視することができます。原子炉のシャーシは、ステンレス製の外装を備えたアルミフレームで構成されており、軽量で耐久性に優れています。このフレームは、高性能セラミック製のいくつかのコンポーネントで満たされています。放出された部屋は10-13 Torrの高圧の50-250°Cの間の温度較差があり、プラズマ強化された分子ビームエピタキシー内で起こる反応条件にとって理想的です。RFコイルは、基板に必要なエネルギーを供給し、チャンバーに導入されたソース・ガス（es）と反応します。RFコイルは、研究中の反応の電子とイオンビームを形成するために使用される磁場場を提供するためにも使用されます。平面cordieriteサセプターは、ウェーハがデバイス開発全体のためにある原子炉内のプラットフォームです。原子炉室は高温環境であるため、サセプターは熱に耐える能力を持っている必要があります。そのため、AMATは熱膨張性の低い材料であるコルディエライトセラミックを使用してサセプターを製造しています。この材料はまた、高いレベルの熱衝撃と強度を提供し、このタイプのデバイス生産での使用に最適です。APPLIED MATERIALS Producer（アプライドマテリアルズ・プロデューサー）は、デバイスの生産とプロセス開発に関連する産業的プラットフォームを提供する先進的な原子炉技術です。非常に制御可能なパラメータセットを提供することにより、このデバイスは厳格な要件を満たす一貫した高い歩留まり製品を生成します。軽量で耐久性のある設計と堅牢なコンポーネントにより、デバイスを厳格な基準に維持でき、自動化された制御ソフトウェアは、可能な限り最高のデバイス性能を得るために必要な手動介入の量を削減します。