中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9111149 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producerは、半導体デバイスから太陽電池まで、さまざまな技術の製造に使用される高度な拡散およびエピタキシー炉です。APPLIED MATERIALS Producerは、高精度で反復可能な薄膜を作成し、サイクル時間を短縮し、プロセスの均一性を確保するように設計されています。この原子炉は従来のプロセス工具よりも大きなチャンバーで構築されており、スループットの向上と複数のプロセスを並列に実行することができます。高温超高真空（UHV）技術を利用し、電子ビームなどの加熱源を用いて、ウェーハ上に望ましい薄膜構造を作るために、精密な温度と厚さで熱を供給します。ウエハはまず、ホルダー内のUHVチャンバーに入れ、ヒーターコイルを使用して必要な温度に加熱します。ウェーハを加熱した後、低圧ソースを使用して、ガスまたはヒ素やリンなどの凝縮材料の適切な導入を拡散させます。このガスまたは材料はドーパントとして機能し、堆積したフィルムを通して拡散して所望の構造を形成します。このプロセスには、プロセスのサイクル時間の短縮、プロセス制御の改善、製品と製品の再現性の一貫性の向上などの利点があります。薄膜増殖やドーピングが要求される半導体製造のプロセスに適しています。AMAT/APPLIED MATERIALSプロデューサーは、厚さの広いフィルムや、粗さと融解特性のフィルムを作成するためにも使用できます。これにより、トランジスタ、ダイオード、トランシーバ、半導体メモリチップなど、さまざまなデバイスを製造できます。AMAT Producerの柔軟性、低圧技術、再現性の向上により、新技術の研究開発にとって貴重なツールとなります。APPLIED MATERIALS Producerは製造技術に欠かせない要素です。