中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293824606 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producerは、薄膜蒸着およびプロセス統合用に特別に設計された産業用グレードの真空蒸着炉です。この原子炉は、物理蒸着、スパッタ蒸着、化学蒸着、原子層蒸着など、さまざまな薄膜蒸着技術と接続されています。複数のソースバスケット、in-situピロメーター、マルチポイントエンドオブラン（EOR）プラズマモニターなど、いくつかの機能があります。また、最大2,400ワットの電力を供給することもできます。AMAT Producerは、真空チャンバー、真空ポンプ、プロセスおよび電源など、いくつかのサブシステムで構成されています。真空チャンバーにはビューポートが装備されており、最大8インチウエハおよび小型サンプル用のモジュール式の望遠鏡サセプターが含まれています。真空ポンプは精密な圧力制御を提供するように設計されており、チャンバーを避難させ、所定の圧力を維持するために使用されます。アプライドマテリアルズ生産者のプロセスソースの配列には、それぞれスパッタ蒸着および反応イオンエッチング（RIE）プロセスに使用されるDCとRFマグネトロンの両方が含まれています。DCマグネトロンは内部に取り付けられた自己完結型のソースであり、RFマグネトロンは外部に取り付けられ、メイン電源にインタフェースされます。最大2,400ワットのRF電源を提供する電源は、モジュール式で、RFソースのチューニングとマッチングのための規定が装備されています。内部ピロメーターは、蒸着中のウェーハの内部温度モニタリングを提供しますが、EORプラズマモニタは、蒸着プロセスの終点を評価することができます。これにより、オペレータは堆積パラメータを微調整し、プロセスを最適化することができます。また、チャンバー壁の冷却を可能にするさまざまな部品や、基板温度とチャンバーの清浄度を監視および制御するためのアクティブな環境制御システムと統合されています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producerは、さまざまなマイクロエレクトロニクス用途に優れた薄膜蒸着ソリューションを提供する効率的で汎用性の高いユーザーフレンドリーな原子炉です。操作が容易で、あるプロセスから別のプロセスに切り替える柔軟性を提供し、優れたプロセス再現性と再現性を実現します。全体的に、この原子炉は、信頼性と堅牢な薄膜蒸着システムを必要とする人々のための優れた選択肢です。