中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293603980 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer （AMPと呼ばれることもある）は、薄膜コーティングと薄膜材料の成膜のために設計された先進的なマルチプロセスチャンバーです。AMPは、スパッタ蒸着、化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）など、さまざまな種類の蒸着プロセスを単一の機器で実行することができます。AMPプロセスは、先進的な薄膜材料やコーティングに対する業界のニーズの高まりに対応するために開発されています。AMPチャンバは耐食材料で構成されており、3つのプロセスゾーンがあり、それぞれにメインプロセスキャビティが装備されています。主なプロセスキャビティは、プロセス環境を最適に制御し、薄膜コーティングの再現性を確保するために密閉されています。各プロセスゾーンには、基板ヒーター、輸送機構、遠隔操作リフトアームなど、独自の特殊部品も装備されています。AMPチャンバは、クリーンで汚染のない環境を維持しながら、複数の基板を同時に処理できる完全自動ローディングおよびアンローディングシステムを備えています。AMPは、マグネトロンスパッタリング、イオンビーム蒸着、CVD、電解蒸着など、さまざまな蒸着技術を容易にするためのさまざまなプロセスツールを装備することもできます。これらの蒸着技術は、薄膜コーティングの品質と均一性の制御の強化、製造時間の短縮、エネルギー効率の向上など、一連の利点を提供します。プロセスツールに加えて、AMPチャンバにはさまざまな制御、フィードライン、フローコントローラがあり、最適なプロセス制御を提供します。チャンバーには、チャンバー内のガス圧力と組成を正確に制御するためのガスユニットも装備されています。ガスマシンはまた、蒸着操作中の熱またはプラズマの損傷を軽減するのに役立ちます。最後に、AMPには高度なモニタリングツールがあり、プロセス時間や膜厚測定などの詳細なプロセスデータを提供できます。このデータは、薄膜材料やコーティングの品質を最適化するために、堆積プロセスを調整するために使用することができます。AMPは、精度と精度のための業界標準を満たすことができる高度な製造資産です。