中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer XT #9208802 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer XTリアクターは、歩留まり、コスト削減、および最終製品の信頼性を向上させるように設計された、高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）チャンバーです。PECVDプロセスは、半導体および光電子材料の範囲で、誘電体とコンフォーマルフィルム層の薄く、非常に均一な層を生成します。AMAT Producer XTチャンバーは、より大きな作業エリア、高いソース電力、および温度安定性の向上により、プロセス能力を向上させます。APPLIED MATERIALS Producer XTチャンバーは、プロセスシャワーヘッド、駆動式リフトアームドア、炭化水素を含まないプラズマ源、ベースバキュームチャンバーで構成されています。RFヒーターは、プロセスのシャワーヘッドに電力を供給し、より高いソース力で蒸着プロセスを可能にし、PECVDフィルムの品質と均一性を向上させます。炭化水素を含まないプラズマ源は、より広範囲の膜厚にわたって厚さの均一性を向上させ、より高い蒸着速度を実現します。ベースバキュームチャンバーの最大圧力はわずか1Torr （133Pa）で、低温で優れた薄膜蒸着が可能です。特徴的には、Producer XTリアクタは、すべての露出面にわたって優れたウェーハ均一性、1,400um/minの高速セトリング速度、および完全に自動化されたウェーハ転送およびローディング装置を提供します。ユーザーインターフェイスは直感的に設計されており、システムはさまざまなプロセス要件の要求を満たすためにカスタマイズ可能なパラメータ設定を幅広く備えています。また、ユニットの歩留まりとスループットを最大化することを目標に設計されており、生産性の向上とウェーハあたりのコストの削減を実現しています。プロセスの品質と安全性を確保するために、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer XTリアクターには、自己整列冷却機、緊急停止機能、自動化されたプロセス監視など、さまざまな安全機能があります。このツールには、効率的なトラブルシューティングのための包括的な診断ツールも含まれています。結論として、AMAT Producer XT原子炉は、薄膜層の堆積における効率、安全性、品質の向上を実現するために設計された高度なPECVD資産です。幅広い機能とカスタマイズ可能なパラメータにより、半導体および光電子材料の製造に最適です。