中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9409076 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは半導体製造用に設計された先進的な原子炉です。AMAT Producer SEは、誘導結合プラズマ（ICP）源を組み込み、優れたエッチング性能を提供します。これにより、プロセスの生産性が向上し、プロセスのパフォーマンスと均一性が向上し、欠陥が軽減されます。APPLIED MATERIALS Producer SEは、統合された物理蒸着（PVD）モジュールと多周波ICPソースを備えており、エッチングの深さ、形状、およびプロセス条件の制御を優れた制御を提供します。誘導結合プラズマと物理蒸着の選択により、複数の基板のより大きな領域での均一なエッチングが可能になり、非常に優れた制御性が得られます。高度なICPソースは、優れたプロセスの均一性と再現性を備えた高レベルの電力制御を提供します。統合された多周波数ICPソースは、エッチングプロセスの選択性と応答時間を向上させ、最大60 msの高速反応速度を実現します。高度なプラズマソースは、幅広いプロセスレシピを可能にし、優れた性能と優れたプロセス汎用性を提供します。さらに、Producer SEには高いアスペクト比エッチングモジュールが装備されており、プロセス精度と再現性が向上しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEのフローティングチャンバー設計により、エッチングの均一性も向上し、均一なフィルムとシード層で優れた性能を発揮します。高度なチャンバー設計により、より大きなワークロードを容易にし、高速スループットと高いプロセス容量を実現します。最後に、AMAT Producer SEは、低い運用コストを維持しながら、最先端の製造能力を提供します。高度なプラズマソース技術により、ダウンタイムとダウンタイムコストを最小限に抑えながら、自動キャリブレーションや非接触電極チューニングなどの機能により、より迅速な運用とメンテナンスコストの削減が可能です。その結果、APPLIED MATERIALS Producer SEは優れたエッチング機能を提供し、運用コストとメンテナンスコストを低く抑えます。