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AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9399987
CVD System (2) Chambers PEOX / Nitride.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、優れたスループットと品質の蒸着を実現するように設計された、高度で大容量のプラズマ強化化学蒸着(PECVD)炉です。SE (Super Edition)は、AMAT、 Inc。によって製造された人気のある「プロデューサー」シリーズの最新構成です。SEは、様々な誘電体、半導体材料、金属、その他のフィルムを精密に堆積させることができる高度な成膜能力を備えています。これには、非常にコンフォーマルで、ピンホールや表面欠陥がないフィルムが含まれます。SEは高度な成膜プロセスを利用して、サブ・アングストローム層の一貫性と予測可能性を備えた一貫したプロセスを提供します。また、SEは1時間あたり最大10,000ウェーハの大容量を誇り、高スループットの蒸着が可能です。これにより、半導体ウェーハ製造などの大規模生産アプリケーションに最適です。さらに、SEは、最大0。5%の均一性を持つ比類のない均一性制御技術を提供し、ウェーハ表面に堆積したフィルムの高い再現性を可能にします。SEは、高容量とフィルム成膜品質に加えて、使いやすさを追求して設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと高度なプロセス制御機能を備えているため、ユーザーはウェーハの温度、基板位置、およびその他のプロセスパラメータを簡単に監視および調整できます。さらに、SEは近代的なマルチゾーンチャンバーアーキテクチャを備えており、チャンバ全体にわたって信頼性の高い均一なプラズマ密度を提供し、細胞から細胞のギャップレベルまで均一性を確保します。全体として、AMAT Producer SEは、優れたスループットと品質の堆積を実現するように設計された先進的なPECVD炉です。比類のない均一性コントロール、大容量、使いやすさを提供します。SEは、半導体ウェーハ製造やその他の大規模な生産用途に理想的な原子炉です。
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