中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390853 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reactorは、金属、合金およびその他の材料のシングルウェーハ電気化学蒸着プロセスの小規模生産のために設計された高効率な原子炉です。この装置は、高性能の電源を備えており、正確で反復可能なプロセス制御と信頼性の高い耐久性のあるプラットフォームにより、中断のない動作時間を確保します。このシステムには、負荷ロックされたイオンビーム誘導蒸着源が含まれており、基板上に均一なソース材料分布を提供します。調節可能なチャンバー圧力により、蒸着中のプロセスパラメータを正確に制御できます。また、高真空条件により、金属や金属ハロゲン化物源などの低コスト材料原料を効率的に使用することができます。単位の中心は線形掃引およびランプの沈殿、ステップ沈殿および時間依存プロセスを含むいろいろな基質プロセスに形成することができる単一版の部屋です。多目的なオプションにより、イオンビームおよび沈着点から基板温度およびポテンシャルまで、プロセス全体を自動化して制御できます。チャンバーはまた、完全に調整可能な基板回転と絶縁または冷却オプションの選択を備えています。リアクターには、一貫した再現性のある結果を保証するために設計された、統合されたセミクローズドループのプロセス制御および品質保証（PCQA）マシンが装備されています。このツールは、リアルタイムでプロセスパラメータを監視および制御するために複数のセンサーを備えており、高度なプロセス監視機能を提供します。また、リアルタイムモニタリングモデルと組み合わせることで、凹凸粒子、膜厚、組成、表面欠陥解析に関するフィードバックを提供することができます。この装置は、今日のシングルプレートウエハから高度なパネル基板まで、幅広い生産目標に対応するために拡張することができます。このモジュール性により、生産歩留まり、コスト効率、品質保証の全体的な向上を最適化するスケーラブルな運用が可能になります。また、ガス検出システムと、プラズマやフラッシュオーバーイベントを制御する高度な制御技術を搭載した完全なプロセスも安全に最適化されています。さらに、自動化されたキャリブレーションユニットは、プロセスパラメータに一定のフィードバックを与え、最も厳格なプロセス制御を保証します。AMAT Producer SE Reactorは、幅広い生産要件のために設計された革新的なプロセス制御および蒸着機です。このツールは、優れた柔軟性、高いスループット、プロセスの一貫性の向上を兼ね備えており、今日の厳しい生産環境に最適なソリューションです。