中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390849 を販売中
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ID: 9390849
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
PECVD System, 12"
Process: APF
Load port type:
Enhanced 25
Wafer FOUP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 208 AC, 3 Phase
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体チップの加工に使用される超高真空、ターボ分子ポンプ、マルチチャンバーリアクターです。3インチから8インチまでの幅広いウエハサイズを処理するように設計されており、一貫した反復可能な結果を保証するために、超高レベルのプロセス制御を提供します。AMAT Producer SEは、1時間あたり最大200ウェーハの処理が可能で、大量生産に最適です。APPLIED MATERIALS Producer SEは、誘導結合プラズマ(ICP)および容量結合プラズマ(CCP)プロセス用に複数のRF源で構成された高度なプラズマ処理チャンバを備えています。さらに、精密なプロセス制御のために、高感度のチャンバー圧力モニターとデジタル圧力コントローラとバルブを内蔵しています。Producer SEのRFソースの高出力密度により、プロセスの柔軟性と制御性が向上します。さらに、ICPおよびCCPプロセスは、単一のRFジェネレータを使用して給電され、複数のジェネレータの必要性を減らし、システムをより費用対効果の高いものにします。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEチャンバーには、より速いポンプダウン時間と改善された真空性能を提供する真空拡散ポンプも装備されています。また、プロセスヒーターを備えており、敏感なプロセスでも正確な温度制御が可能です。さらに、AMAT Producer SEには、デウォール、自動圧力スイッチインターロック、チャンバー保護装置など、安全性を向上させるいくつかの機能が組み込まれています。アプライドマテリアルズ・プロデューサー(APPLIED MATERIALS Producer SE)は、プロセス監視のために、大量断片化モニター、分子検出システム、光放射検出器などの広範なツールとセンサーを提供しています。これらのツールから取得したデータを使用して、プロセスを最適化し、歩留まりを向上させることができます。さらに、Producer SEには、質量分析計、プロセスモニター、分光システム、リーク検出器などのさまざまな診断ツールやアクセサリが組み込まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、その運用をサポートするさまざまな高度なソフトウェアパッケージも提供しています。このソフトウェアは、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、ユーザーが設定し、さまざまなプロセスステップのパフォーマンスを監視することができます。全体として、AMAT Producer SEは、大量生産のために設計された高度で高性能なマルチチャンバー処理プラットフォームです。高度な機能と包括的なソフトウェアパッケージを備えたAPPLIED MATERIALS Producer SEは、これまでにないレベルのパフォーマンスと費用対効果を提供します。
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