中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390419 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (Substrate Etch)リアクターは、シリコンウェーハの高度なエッチング処理用に設計された最先端のフォトリソグラフィーチャンバーです。基板のドライエッチングとウェットエッチングの両方が可能で、ディープリアクティブイオンエッチング(DRIE)、誘導結合プラズマエッチング(ICP)、イオンビームエッチング(IBE)など、幅広いエッチング用途に使用できます。AMAT Producer SEの最先端テクノロジーは、今日入手可能な最も強力なエッチングシステムの1つです。APPLIED MATERIALS Producer SEは、独立して制御されたポートと独立したRFソースに依存したデュアルウォールオーバーヘッドヒーター設計を使用して、一貫した正確な温度制御を保証します。このユニークな特徴により、ガス抜きや温度不規則性を引き起こす他の熱現象を防止することにより、原子炉が最適な温度に到達し、維持することができます。独立したオーバーヘッドヒーターは、ウェハ全体にわたって優れたエッチングの均一性を保証します。Producer SEのもう1つの利点は、複数のウェーハを同時に処理できることです。このシステムには6つの処理チャンバがあり、複数のエッチングを並列に実行して、より迅速でコスト効率の高い生産を実現します。その結果、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、大規模な生産や大量のアプリケーションに最適です。AMAT Producer SEは、複雑で精密なエッチング操作を処理できる完全自動化されたプロセスチャンバーを備えています。マルチツール、マルチレシピコントローラを搭載し、複数のエッチング操作を正確かつ同時に制御します。また、高度なオートメーションアルゴリズムとクローズドループのプロセス制御を備えており、均一なエッチングプロセスを確保しています。APPLIED MATERIALS Producer SEの堅牢な設計により、温度、圧力、およびプロセスガスを正確に制御でき、最適なエッチング特性が得られます。このシステムは、工具時間とメンテナンス要件を最小限に抑えながら、生産性とスループットを最大限に高めるように設計されています。Producer SEは安定した信頼性の高いプロセスチャンバーを提供し、お客様に最高の性能と信頼性をエッチング生産に提供します。高歩留まり、費用対効果の高いエッチングプロセスの推進に最適です。
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