中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9358626 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、複雑なエッチングと蒸着プロセスを実現する、業界をリードする強力な半導体製造炉です。この原子炉は、生産レベルの成長能力を備えており、高いスループット、高速サイクルタイム、および堅牢な炉の性能をユーザーに提供します。シングルウェーハ絶縁モジュールは、基板温度を最大70°C低減し、よりクリーンで高速で信頼性の高い蒸着プロセスに対応します。この高効率リアクターは、ウェハドーピング、蒸着、エッチングのプロセスを確実にするために、計測可能なプロセス制御を提供します。AMAT Producer SEは、エネルギーコストを削減する環境に優しいツールです。さらに、システムのメンテナンスを最小限に抑え、よりクリーンな動作とプラズマの均一性を向上させ、歩留まりを向上させるように設計されています。このツールは高度なインターロックシステムを備えており、オペレーターの安全と世界的な安全基準の遵守のために設計されています。APPLIED MATERIALS Producer SEは、AI駆動のセンサーと制御パッケージであるAMAT EdgeTMを搭載し、リアルタイムのプロセス最適化を実現しています。このセンサはまた、過酷な温度またはフローイベントから原子炉を保護し、それ以外の場合は望ましくない基板損傷を引き起こす可能性があります。EdgeTM Technologyは、データ駆動型の機械学習アルゴリズムを使用して、変化するプロセス条件に自動的に調整します。Producer SEは、ユーザーが温度、圧力、流量を制御できる高度なプロセス制御を提供します。原子炉は、プロセスの正確な温度プロファイルを与える高度な圧力センサーの助けを借りて、ガスの交差温度を監視することができます。さらに、この原子炉は、コアセンタリングと偏心ウェハチャックシステムの両方を備えたウェーハ輸送とローディングを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、プリプロセスおよびポストプロセス操作を簡素化する加熱ウェハシャトルも備えています。この高精度で自動化されたウェーハハンドリングシステムは、処理されるすべてのウェーハの均一性を保証します。3軸プロセスチャンバーのムーブメントは、蒸着、均一スキャン、ウェーハアライメントなどの水平および垂直の動きを提供します。AMAT Producer SEは、エッジのトリミングやコーナーの丸めなど、高度な後処理オプションも提供しています。これにより、デバイスの製造性と歩留まりを向上させるための包括的なアプローチがユーザーに提供されます。APPLIED MATERIALS Producer SEリアクタには、APPLIED MATERIALS直感的なユーザーインターフェイスとpGEM™グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)ソフトウェアが付属しています。細心の注意を払ったプロセス開発とデータ分析機能により、製造効率を最適化できます。pGEMを使用すると、オペレータはプロセスに最適なレシピを素早く簡単に選択できます。全体として、生産者SEリアクターは、効率的な基板処理と高品質の結果を提供する高度で強力な半導体製造ツールです。最適化された設計により、安全で費用対効果の高い信頼性と再現性の高いプロセスが保証されます。
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