中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9354650 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高いスループット、高い生産歩留まり、および低プロセス変動性を必要とするジョブ用に特別に設計された半導体炉の一種です。シングルウェーハ遠心蒸着（SWCD）リアクターは、高い蒸着選択性、均一な層構成、並外れたプロセス再現性を提供するように特別に設計されています。AMAT Producer SEは、高生産性の副方向性スパッタリング装置とエンドポイント検出システムを統合し、高い成膜選択性と均一な層構成を提供します。双方向スパッタリングユニットは、ターゲット表面に負と正の電荷の両方を生成することにより、均一な薄膜を生成します。これにより、従来のスパッタリングシステムと比較して、より均一な層の堆積が保証されます。エンドポイント検出マシンは、定義されたエンドポイントでの自動シャットオフと同様に、追加のプロセス制御を可能にします。APPLIED MATERIALS Producer SE蒸着炉に採用された遠心蒸着（CD）技術は、従来のスパッタリングと比較して薄膜蒸着時間を短縮する、高スループット、高生産性、低プロセス変動技術です。これは、薄膜を堆積しながらウェーハを高角度で回転させることによって実現され、蒸着の均一性を最大化します。Producer SEリアクタは、高度なツールアーキテクチャによりプロセスの自動化を強化し、プロセスのサイクル時間を短縮します。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEリアクタには、温度、圧力、RF電力、流量など、すべての主要な動作パラメータを正確に制御する可変周波数ドライブがあります。この原子炉はまた、精密で安定した流量を可能にする堅牢な材料供給システムを備えており、潜在的な変動を最小限に抑えながら高い蒸着速度をもたらします。要約すると、AMAT Producer SEは、高い蒸着選択性とプロセスの再現性を目的とした高度な技術を備えた遠心蒸着炉です。この技術は、堅牢なデリバリーシステムと組み合わせて、最高の生産歩留まり、歩留まりの均一性、およびプロセスのサイクル時間の短縮を保証します。