中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9354294 を販売中
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ID: 9354294
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2014
PECVD System, 12"
Process: TFM U Low-K dielectric
(3) Chambers:
Chamber A-BCHD
Chamber B-BCHD
Chamber C-BCHD
(3) FOUPs
CVD85x
Missing parts:
User interface monitor / Keyboard
Heater
MF AC Panel
Manometers
RF Generator
MF-LL Heater
MF- Foreline
FI- Door interlocks
FI- KVM and Monitor
MF-LCF Sensor
MF- Buffer robot
MF- Gold box
Lid stack
Lid covers
RPS
FI- FFU Pid
Gas Box
RF Generators
MF- MF LL
MF- MF I/O
AC Box
RPS
FI-FI ATM
GPLIS and gas panel
Robots and controller
CIM: SECS / GEM
2014 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT)リアクターは、現代の集積回路(IC)の製造に使用される半導体リアクターの一種です。この原子炉は、シリコンなどの薄い層の材料を半導体基板に堆積させることによって機能します。基質は通常ケイ素でできていますが、ヒ素ガリウムや酸化アルミニウムなどの他の材料も含まれます。半導体フィルムをリソグラフィでエッチングすることで、トランジスタなどを基板上にパターン化することができます。APPLIED MATERIALSリアクターには、堆積処理やエッチング処理など、さまざまな機能があります。成膜プロセスでは、物理的または化学的蒸着(PVD/CVD)プロセスを使用して、ナノメートルの範囲から数百ナノメートルの厚さまで、基板上の材料を層状にします。エッチングプロセスはリソグラフィを使用します。使用されるレーザーは紫外線から赤外線範囲まで望ましい方法で基質を正確にパターン化するためにどこでも達することができます。この原子炉は、大量の高精度プロセスで使用するために設計されています。多くの用途において、AMAT/APPLIED MATERIALSリアクターは正確な結果をタイムリーに提供することができます。これは、厳しく制御された環境、高性能レーザーシステム、およびプロセス全体をプログラムするコンピュータ支援設計ツールによるものです。この原子炉は高いスループットを持っているため、短時間で多くの製品を生産することができます。また、多くの半導体アプリケーションに不可欠な精密エッチングと精密なプロセス監視のための優れたプラットフォームを提供します。全体として、AMATリアクタは最新のIC製造プロセスに最適なツールです。現在の半導体業界で求められている必要な精度とスピードを提供します。あらゆる用途に適した信頼性の高いツールであり、半導体技術の世界ではかけがえのないツールです。
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