中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9351469 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体デバイスおよび部品の製造に使用される薄膜の堆積用に特別に設計された原子炉です。この原子炉は、半導体を構成する薄膜を作成するために、さまざまな技術を利用しています。これらには、物理蒸着（PVD）、蒸着、化学蒸着（CVD）、または中間体を使用して薄膜を生成する、原子層蒸着（ALD）または基板上の複数の原子の組み合わせによる薄膜の成長が含まれる。AMAT Producer SEの中心にはプロセスチャンバーがあります。このチャンバーは、製造工程で使用されるさまざまな基板を保持するように設計されています。チャンバーはまた、薄膜の堆積が行われることができる制御環境を提供します。チャンバーの主要コンポーネントは、電源、光学ピロメーター、および真空コンポーネントです。さらに、チャンバーにはプロセスモニタリング装置と安全インターロックが含まれており、プロセスチャンバーとそのコンポーネントを損傷する可能性のある偶発的な過圧を防止します。APPLIED MATERIALS Producer SEは、薄膜の信頼性と正確な堆積を確保するために、PVDおよびCVD技術を利用しています。PVDは基板上に堆積する材料の蒸発に依存し、CVDは中間体を使用して薄膜を作成することに依存しています。蒸着工程では、原料に電力を印加し、基板上に希望する薄膜を生成します。さらに、ALDは基板上に複数の原子を組み合わせることによって薄膜を作成するために使用されます。これは一連のステップで行われ、希望する薄膜の形成につながります。堆積プロセスを正確に制御するために、Producer SEは多くの光学系と電気系を利用しています。これらには、高スループット光ピロメータやプロセス監視システムなどの光学系が含まれ、プロセス制御を正確に行うことができます。さらに、原子炉はさまざまなセンサーとインターロックを使用して、チャンバーとその部品を損傷から保護します。これには、圧力センサ、温度センサ、および電流過負荷保護システムが含まれます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体デバイスおよび部品の製造に使用される薄膜を堆積するように設計された、高度で信頼性の高い原子炉です。PVD、 CVD、 ALDなどの様々な技術を利用して、基板上の薄膜の正確かつ一貫した堆積を保証します。さらに、システムは精密なプロセス制御を提供するさまざまな光学および電気部品を含んでいます。最後に、原子炉にはプロセスチャンバとその部品の過圧を防ぐための安全インターロックが含まれています。