中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9315106 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE （Spin-on Epi）リアクターは、産業用および研究用途の両方に薄膜を堆積するために使用される最先端のエピデポジションシステムです。AMAT Producer SEは、簡単に拡張可能なモジュールを活用した画期的な新しいデザインを備えています。これにより、堆積プロセスをカスタマイズし、最大限の柔軟性、品質、コスト効率で特定のニーズに合わせて調整することができます。アプライドマテリアルズプロデューサーSEは、直接ウェーハ製造をサポートしており、クリーンルーム環境に入ることなく、加工チャンバ間で基板を直接転送することができます。この原子炉は、既存の上流および下流プロセスに接続することができ、完全に統合された薄膜蒸着ソリューションを提供します。原子炉室はステンレス製で、一度に最大2つのウエハを蒸着するように設計されています。5 × 10-7 Torrの真空レベルに密封され、2ゾーンまたは3ゾーンの基板加熱を利用します。2ゾーンオプションはシングルカセット輸送をサポートし、3ゾーンオプションは2方向カセット間カセット輸送を同時にサポートします。Producer SEの中核は、あらゆる成膜材料に対応できるように設計された成膜ソースモジュールです。ソフトウェア制御のソースモジュールは、単純なALD （Atomic Layer Deposition）から複雑で時間配列化されたマルチステッププロセスまで、幅広いプロセスシーケンスをサポートします。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、現場監視および制御システムに優れており、エンドユーザーは実際のリアルタイム排水制御と緊急時のアラーム機能を確認することができます。さらに、原子炉には、さまざまな薄膜アプリケーションの標準レシピにアクセスするために使用される高度でありながらユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。この機能により、実際の堆積プロセスをリモートワークステーションから監視および制御することができます。ユーザー定義レシピのサポートに加えて、AMAT Producer SEはSiN、 SiC、 SiOx、窒化物、誘電体、および他の多くのフィルムを含む一般的なアプリケーション向けに400以上の事前定義済みの機器固有のレシピも提供しています。全体として、APPLIED MATERIALS Producer SEは、中小企業や大企業のニーズを満たすように設計された、最高レベルの費用対効果の高い原子炉です。操作が簡単で、薄膜成膜性能に優れ、様々な用途に合わせた柔軟性があります。さらに、リアルタイム監視および制御システムにより、迅速なプロセス最適化と品質保証が容易になり、研究および産業用途に最適です。