中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9311351 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、幅広い用途に優れた性能と柔軟性を提供する先端技術ウェーハ製造炉です。この汎用性の高いウェーハエッチングリアクターは、プラズマの均一性と再現性を最適化するための高度なチャンバー設計を備えた広い処理領域を備えています。AMAT Producer SEは、精密なプロセス制御と監視を可能にする最新のオートメーションおよびプロセス制御技術を搭載しています。APPLIED MATERIALS Producer SEは、効率的なスループットのために設計されたデュアルウェーハプラットフォームシステムです。それは-15から+15度にピッチで調節可能である2つの大きく、縦に取付けられた冷却の頭部が装備されています。フラッシュガス流量の増加により、チャックからのウェーハの急速な冷却と放出も可能になります。Producer SEは、処理領域に均一で反復可能なプラズマを提供し、ホットスポットを排除し、エッチング速度を加速するように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEの核心は、その先進技術である堅牢な電源です。この電源により、リアクティブイオンエッチプラズマのタイトな制御とパフォーマンスの向上が可能になります。AMAT Producer SEは、軌道周波数13。56MHzで動作する高周波RFジェネレータを備えており、0〜400kHzのRF周波数出力を調整可能です。これにより、エッチング率を最適化するための調整可能な電力比を備えたクリーンで安定したバックグラウンドプラズマが保証されます。APPLIED MATERIALS Producer SEは、エッチング処理に優れた柔軟性とウェーハ間の再現性を提供するように設計されています。人間工学に基づいた設計には、幅広い負荷にわたって一貫したRF性能を発揮する特許取得済みのRFマッチング回路と、等方性プラズマ形状を作成するのに役立つデュアルボルト式マグネットマニホールドが組み込まれています。さらに、不活性ガスを使用したクローズドサイクル冷却システムは、優れた再現性を提供し、異なるプロセス実行にわたって再現可能なエッチング速度を可能にします。要約すると、Producer SEは堅牢で汎用性が高く、費用対効果の高いウェーハ製造炉です。その大きな処理領域、調節可能なピッチ冷却ヘッド、堅牢な電源とRFジェネレータ、および高度な磁気マニホールドとRFマッチング回路は、優れた性能と優れた再現性を確保し、幅広い用途に対応します。