中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9294355 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体研究者、メーカー、学術ユーザー向けに設計された最先端のエピタキシャル蒸着装置です。これは、精密な制御および現場監視機能と組み合わされた幅広い堆積およびエッチングプロセスを提供します。このシステムには、エピタキシャル化学蒸着（E-CVD）チャンバーと誘電性エッチングチャンバーが装備されています。AMAT Producer SEは、GaAsやInP、 SiO2やSi3N4など、さまざまなIII-V材料を入金することができます。成膜プロセスは、高効率ヒーターによってサポートされており、成長中の熱ゆがみを最小限に抑え、より高品質のエピレーヤを実現します。チャンバーは、広い領域（最大4インチのウエハ径）に均一な蒸着を提供するように設計されています。APPLIED MATERIALS Producer SEには、堆積プロセス中の層のin-situ特性評価用の高度な専用エピモニターユニットが装備されています。このマシンには、レーザー誘導電流電圧（LIVまたはIV）、イオンチャネリング、フォトルミネッセンス（PL）、原子力顕微鏡（AFM）などの複数の直交in-situマイクロ分光技術が含まれています。これによりエピタキシャル成長プロセスのリアルタイム制御が可能になり、基板全体の層質と均一性を最適化することができます。さらに、このツールには、幅広い互換性のあるエッチングガスを備えた遠隔制御誘電エッチングチャンバーが装備されています。このチャンバーには直接プラズマ源が装備されており、プロセスガスフロー、エッチング電力、基板温度を正確に制御できます。これにより、オキシニトリド、SiO2、 Si3N4などの様々な誘電材料を精密にエッチングし、高アスペクト比のアプリケーションを実現します。Producer SEは使いやすく信頼性の高い資産であり、優れたプロセス制御と層の特性評価機能を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高精度のエッチングおよび成膜機能と現場モニタリング機能を兼ね備えており、高品質のエピタキシャル層を大規模に生産する必要がある研究者やメーカーにとって理想的なツールです。