中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9281300 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEリアクターは、半導体製造に特化したシングルウェハガスクラスタイオンソース反応イオンエッチャー（RIE）です。この装置は、ハイパーフィールド誘発の無反応プラズマ流量、高イオン密度、均一なプラズマエネルギー分布に基づいて、同社の最先端プラズマ生成および制御技術を統合し、プロセスを改善します。低インピーダンス磁気アシストイオン化（MAI）技術により、プロセスの柔軟性が向上し、パフォーマンスが向上します。また、AC誘導結合源による優れた生産性を有しています。高度なPCベースの機器インターフェースを備えたAMAT Producer SEは、完全に自動化された機器制御と複数のユーザー機能を組み合わせています。高度なプロセス最適化機能を備えており、レシピのセットアップと運用の改善に必要な時間とリソースを大幅に削減します。これは、ガス流量比、圧力、温度、タイミングなどのパラメータを制御する高度なソフトウェアアプリケーションによって有効になります。FEOL （Front End of Line）バッチインプラントおよびエッチプロセス機能により、非常に使いやすく、さまざまな化学蒸着、イオン注入、およびインプラント後のエッチングアプリケーションに適用できます。APPLIED MATERIALS Producer SEには、強力で独立した積載式の結晶イオンガンアセンブリが装備されており、高いイオン密度を提供します。SEの特許取得済みの近接結合高速ガス供給ユニットは、高精度のプロセス制御のための正確なガス比率を提供します。独自のデュアルモード移植により、エッチングと移植シーケンスを同時に発生させることにより、プロセスを高速化します。プラズマ条件を自動調整して最大効率を高めるRIEガスパルスマシンの高速反応時間により、生産性がさらに向上します。Producer SEのデュアルおよびスプリットモード基板処理ツールは、さまざまなチャンバ構成を選択するオプションにより、これまでにない柔軟性を提供します。また、ProPlasmaによる高度なプロセスモニタリング機能も備えており、プラズマ特性、エッチングプロセス性能、原子種の組成に関するリアルタイムデータを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高効率、高品質、コスト効率の高い生産を実現するために半導体メーカーのニーズを満たすように設計された信頼性と実績のあるツールです。高度な機能セットと制御機能を備えたSEは、今日の複雑なデバイス製造ニーズに費用対効果の高いソリューションを提供します。
まだレビューはありません