中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9275287 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体製造業界で使用するために設計された最先端の化学蒸着（CVD）炉です。AMAT Producer SEは、誘導結合プラズマ（ICP）源と複数の熱源を利用して、酸化物、窒化物、金属を基板に含むさまざまな材料を堆積させる単一のウエハ生産炉です。シングルウエハ加工と高温CVDを組み合わせた独自の設計により、優れた均一性と優れた生産性を実現しています。APPLIED MATERIALS Producer SEは、ICPソース、ガス供給システム、複数の基板を保持するタレット、および熱源を含むいくつかの主要コンポーネントで構成されています。ICP源は、反応室内のガスをイオン化するために使用される誘導結合高周波コイルであり、材料を反応させて基板上に堆積させる。ガスデリバリーシステムは、堆積反応を実行するために必要なガスを供給し、タレットは堆積物を受け取る基板を保持します。最後に、熱源は沈着反応を開始し加速するために必要なエネルギーを提供します。Producer SEは、熱安定性薄膜蒸着、ナノ粒子蒸着、光学薄膜蒸着など、さまざまな蒸着用途に使用できるため、汎用性の高い設計となっています。SE 75、 SE 100、 SE 150の3つのモデルがあり、異なるウェーハサイズとプロセス要件に対応しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、プロセスの安定性と歩留まりを向上させながら、追加のプロセスガスとエネルギーの必要性を低減するため、エネルギー効率が高く環境に優しい製品です。さらに、AMAT Producer SEは、制御ガスフロー、プロセスチャンバー保護ガスの流入、密閉基板保管エリア、緊急停止機能など、多くの安全機能を備えているため、オペレータの安全性を最大化するように設計されています。全体として、APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体製造業界で使用するために設計された強力で汎用性の高いCVD炉です。革新的な設計により、均一性と生産性を向上させたシングルウェーハ加工が可能となり、先端材料の高歩留まり生産に最適です。