中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9274481 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、誘電体、金属、その他の材料を幅広いプロセス形状の基板に堆積させることができる高性能の蒸着装置です。このシステムは、独自のマルチソースプラットフォームを使用して、優れた均一性、温度の均一性、レートマッチング、およびすべてのプロセスステップの再現性を提供します。これは、物理蒸着（PVD）、スパッタ蒸着、化学蒸着を含むがこれに限定されない、複数のプロセスを持つ生産ラインでの使用のために設計され、完全に自動化されています。AMAT Producer SEは、高いスループット、再現性、制御精度を確保しながら、非常に低い基板汚染とウェーハ間の非均一性を実現します。APPLIED MATERIALS Producer SEプラットフォームは、メインフレーム、蒸発器、スクラバー、電源など、いくつかのモジュールで構成されています。メインフレームはプラットフォームの中央制御ユニットとして機能し、マシン全体を制御するコンピュータとソフトウェアで構成されています。この蒸化器モジュールは、標準的な工業用グレードの部品を使用して一貫したスループットとプロセスを提供し、優れた基板均一性を実現するウェーハ表面蒸着に使用されます。スクラバーモジュールは、さまざまなプロセスに対応するために、プロセスチャンバーの排気洗浄に使用されます。電源モジュールが蒸化器モジュールの力を制御するのに使用されています。このツールには、最大のプロセス柔軟性、再現性、および正確な制御を保証するいくつかの機能も含まれています。このアセットには、オープンバスデザイン、複数のプロセスオーブン、および高度なウェーハリフティング機能が装備されています。マルチソースプラットフォームにより、複数の材料層を1つのパスに堆積させることができ、最大の堆積率が得られます。このモデルはまた、調整可能なパーティクルフィルタリング機能を提供し、自己限定沈着プロセスの均一性を保証します。さらに、Producer SEには独自の校正機能があり、蒸発速度、厚さの均一性、蒸着品質を正確に制御できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは非常に汎用性が高く、ディスプレイ技術、半導体インターコネクト、磁気記録メディア、薄膜アプリケーションなど、幅広い用途で最適な成膜結果を提供できます。この装置は高信頼性で、システム全体にわたって優れた耐障害性が統合されており、最も正確な蒸着結果を保証するためにカスタマイズされた幅広いプロセスパラメータを備えています。その結果、AMAT Producer SEは優れた性能と再現性を提供し、大量生産環境に最適です。