中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9261409 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、多結晶およびアモルファス半導体材料のフィルムを堆積するように設計されたシングルエンド（SE）生産炉です。この原子炉は、800°Cまでの温度で毎分1。5nm〜5nmの材料蒸着速度を提供するように設計されています。SEは、電子ビーム源を含む遠隔操作の源チャンバーを使用して、非常にエネルギッシュで均一な電子ビームを提供します。このビームは、原子炉のメインチャンバー内の基板表面に向けられ、焦点を当てられます。メインチャンバーには、目的の温度を維持し、蒸着プロセスをサポートする空冷ライナーも装備されています。このシステムには、ビーム電流、電子ビーム偏向および焦点、およびチャンバ内の温度と圧力を含む幅広いプロセス変数を制御するためのデジタルコントローラが装備されています。また、デジタルコントローラを使用すると、基板温度とチャンバー圧力を調整して、異なる組成の材料に最適な蒸着速度を達成することができます。さらに、デジタルコントローラを使用して、運転時間、ビーム電流、チャンバー圧力を正確に監視および最適化し、最大歩留まりと蒸着速度を実現できます。より高い基板温度を必要とする特定の材料については、AMAT Producer SEに追加の石英チューブを装着して追加の加熱を行うことができます。水晶管は基質およびサイドウォールの暖房に使用することができ受動的な味方壁のヒーターより均一な基質の暖房を提供します。水晶チューブ内のインバータ電源を使用して、特定のプロセスパラメータに必要な電流プロファイルと温度を正確に設定できます。手動で制御されたプロセス変数に加えて、APPLIED MATERIALS Producer SEには、使用後にチャンバーを清掃する自動システムも含まれています。この自動化システムは、一連のパージサイクルを使用して、有害な破片が堆積室から除去され、基板表面が完全にきれいであることを保証します。この機能は、最適なフィルム特性と歩留まりを実現するために不可欠です。Producer SEは、薄膜やポリマーの蒸着に最大限のスループットと精度を提供するように設計されています。それは中小規模の生産のための有効で、信頼できる解決を捜すプロセスエンジニアのための理想的な選択です。単一のエンドデザインにより、SEは最小限のメンテナンスで最高の生産率を達成できます。これらのすべての機能により、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEのユーザーは、堆積要件に最適な選択肢を見つけることができます。