中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9258633 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、半導体業界の幅広い材料エッチング用に設計された高度な反応イオンエッチング（RIE）装置です。これは、高度なプラズマ源と高度なエッチング源という2つの技術を1つの統合パッケージに統合しています。高度なプラズマ源により、プロセスの均一性に優れた高スループット生産が可能になり、高度なエッチング源により、さまざまな絶縁体や導体材料を高アスペクト比でエッチングすることが可能になります。RIEシステムは、プロセスガス、酸化ガス、反応ガスなど、さまざまなガスをエッチングチャンバーに導入することによって機能します。このガス混合物は、エッチング室に均一な電場を作り出し、エッチング率を高める高周波電界とプラズマラブ源を適用することによってイオン化されます。ガスの混合物がイオン化されると、RFジェネレータを使用して高電圧イオンスパッタを生成し、エネルギーイオンでワークを爆撃するために使用されます。この衝撃は、ワークピースの表面から不要な材料を取り除き、構造化されたエッチングを可能にします。AMAT Producer SEは、エッチングプロセスを最適化し、生産性を向上させるための高度なコンピューター制御を提供しています。そのソフトウェアは、エッチングプロセスの完全な自動化を可能にし、プロセス制御の強化と再現性の向上を可能にします。エッチング工程は、プログラマブルパラメータを介してさまざまな材料や形状に微調整することができ、プロセスの再現性が向上し、歩留まりが大幅に向上します。統合されたプロセスレシピメモリにより、異なるエッチングシーケンスのプロセス設定を迅速に変更でき、オペレータのエラーを排除できます。APPLIED MATERIALS Producer SEは、エッチング機能に加えて、原子層成膜（ALD）などのプラズマ補助蒸着プロセスも提供し、薄膜の高精度成膜を提供し、複雑なゲート構造やデバイスを作成することができます。この高度な多機能ユニットは、プロセスの正確性と一貫性を確保しつつ、サイクル時間を大幅に短縮し、生産性を向上させることができます。Producer SEは広範なRIEマシンであり、優れたプロセス均一性を持つ幅広い材料をエッチングすることができます。これは、従来のウェットエッチングプロセスでは不可能な選択性とアスペクト比を備えた、高品質で反復可能な構造を作成するための理想的なツールです。さらに、異なる材料、形状、堆積物のエッチングパラメータを微調整する機能により、プロセス制御、再現性、収率の向上が可能になります。これらの機能により、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは半導体エッチング用途に最適なソリューションとなります。