中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9258533 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、高度な基板蒸着用に設計された400mm電子ビーム蒸発装置です。これは、高出力の電子ビーム源を備え、正確で再現可能な線量制御を備えた最先端の成膜ツールの1つです。このシステムは、毎分最大600アングストロームの印象的な沈着速度を備えているため、あらゆるタイプの薄膜アプリケーションに最適です。さらに、最大500mmのウェーハに対応できる大型チャンバーサイズを備えており、積み降ろし作業を簡素化します。強力なビーム源および部屋の設計は回転キー操作および信頼でき、一貫した薄膜の沈殿を提供するオートメーションに優しいインターフェイスと結合します。AMAT Producer SEはEnhanced Process Monitoring （EPM）を使用して、一貫した製品の成膜と品質を保証します。EPMユニットは、蒸着速度、蒸着均一性、線量制御を監視し、プロセスの正確性を確保します。これにより、各ウェーハとロットの均一性が確保され、ユーザーは結果を信頼できるようになります。さらに、フラクショナルモニタは、プロセス制御を0。1％に引き締め、より一貫した製品を作成し、プロセスの変動を低減します。最後に、APPLIED MATERIALS Producer SEには予測学習とモニタリング（PLM）が装備されており、潜在的な異常を事前に診断し、ダウンタイムと生産の遅れを軽減します。また、最新の安全機能を備えており、すべての規制基準を満たすことができます。これらには、トリプルステージのフロントオープニングセーフティドア（TFOSD）ツール、セーフティエッジストップメカニズム、分散アセットアーキテクチャ（DSA）、および不活性アルゴンガス充填モデル（IAGS）が含まれます。もちろん、選択可能なウェーハ識別モード（SWIM）や全体的な機器有効性モニタ（OEEM）など、ユーザーフレンドリーな機能がたくさんあります。これらの機能を組み合わせることで、Producer SEは今日の市場で最も先進的な半導体蒸着システムの1つになります。