中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251465 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、統合された高度なプロセス制御機能のためにユニークな自動化学蒸着（CVD）炉です。AMAT Producer SEはGaAsやInGaAsなどの化合物半導体合金の合成だけでなく、低k材料と高k材料の両方の堆積のための最適なソリューションを提供します。この原子炉設計は、幅広い蒸着パラメータにわたって信頼性と均一な蒸着を可能にし、お客様の製造システムに密接に統合するための超小型フットプリントを提供します。この原子炉は、加熱、冷却、るつぼ入力用の4つの電源と裏面のサセプターを備えた蒸着室で構成されています。チャンバーは、最大動作温度1200°Cに達するように設計されており、機械式ターボ分子ポンプを備えた10〜7 mbarまでの基底真空を維持します。調節された気体反応物の流れは、統合された入力源からのガス分配システムを介して蒸着室に正確に供給されます。るつぼはタングステンとモリブデンから作られており、2000°Cまでの温度を達成することができます。裏面サセプターはグラファイト製で、固体リアクタントのバランスの取れた加熱を可能にするヒータープレートも備えています。APPLIED MATERIALS Producer SEには、プロセスの安定性、均一性、信頼性を向上させるいくつかのユニークな機能が含まれています。例えば、生産者は温度制御されたサセプターを内蔵しており、圧力と流量を自動的に調整して、プロセスウィンドウの安定性を向上させます。また、原子炉には、原子炉間の相互汚染を避けるために、4つのチャンバーのそれぞれを隔離するマルチゾーン加熱システムが組み込まれています。このマルチゾーンシステムにより、より大きな基板に堆積しながら基板温度プロファイルの均一性も向上します。さらに、Producer SEには、基板に沿った熱勾配をさらに低減するための統合冷却が装備されています。この原子炉には、プロセスを停止する緊急ボタン、ハロカーボンベースのフラッシング、オペレータと周辺環境を保護する安全弁システムなどの高度な安全システムも装備されています。さらに、原子炉は、堆積プロセスパラメータの迅速なサイクルを可能にするために、最大8つのレシピを格納することができます。統合されたオフラインコントローラは、手動エラーを回避し、セットアップ時間を短縮するために、単一の場所から原子炉をリモートで制御することを可能にします。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは堅牢で信頼性の高い自動CVD炉であり、幅広い蒸着プロセスに使用でき、より高い均一性とプロセス安定性を実現します。そのため、AMAT Producer SEは、半導体産業における幅広い材料および合金の確実かつ迅速な堆積に使用できます。