中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251464 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9251464
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
CVD System, 12" 2002 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、幅広い半導体生産プロセスを処理するために設計されたプロセスリアクターです。この原子炉は、高いスループット、高いデューティサイクル、低ダウンタイムを備えているため、半導体生産に最適なソリューションです。AMAT Producer SEは、プロセス最適化のための高度な制御装置を備えており、最大20メガワットの電力を供給するように設計されています。耐食性に優れた石英チャンバーを採用し、最高の熱効率を実現しています。このチャンバーは誘導加熱コイルを備えており、生産ニーズをサポートするために短時間で莫大な熱を生成します。圧力センサと可変ガス流量制御を備えており、プロセスの最適な結果を得るための安定した環境を維持するのに役立ちます。このユニットは、効率的なプロセススイッチングのために変更することができる様々な生産材料で設計されています。また、複数のリアクタ構成、最大5つのin-situ負荷ロック、最大2つの後処理ステーションが可能です。APPLIED MATERIALS Producer SEは、高度なオートメーションと制御機能も備えており、生産をより効率的に行うことができます。このマシンは、圧力、温度、ガスの流れ、ウェハの向きと位置など、さまざまなプロセス監視および制御ツールをサポートしています。Producer SEは、人員の安全のための囲まれたチャンバー、アラームシステム、および保護アクセス制御などの複数の安全機能を備えて設計されています。このツールは、Atomic Layer Deposition (ALD)を含むエッチングおよび蒸着プロセスアプリケーションの両方が可能です。すべてのプロセスステップは、柔軟性と生産プロセスの最適化のためにプログラムされています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SEは、幅広い生産プロセスを安全かつ効率的に処理するように設計された先進的な半導体生産炉です。高いスループット、高いデューティサイクル、低いダウンタイムを備え、安定した環境を維持し、高度な自動化と制御機能を提供します。このアセットは、ALDを含むエッチングおよび成膜プロセスのアプリケーションに最適です。
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